牛尾 MIKASA光刻机系列MA-10B 美萨现货代理系列

特征

产品特征：

●机械手平台可移动±50 mm，便于对齐

●在可移动的部件上设置传感器，防止误操作

●更轻量化的设计 ※与本公司的MA-10比较

●防止面罩掉落的抽板※根据面罩玻璃规格制造

●适配不规则尺寸的基板*根据基板样式真空吸附

产品规格：

*式样、规格可能会有变化，恕不另行通知；

*更多信息欢迎咨询我们。

大基板尺寸

φ4英寸

大基板厚度

2毫米

大掩模尺寸

5 x 5英寸

照度

>8mW/cm2(At405 Nm)

从远红外线到紫外线，从灯管到镭射

始于1964年的Ushio，身为工业用光源制造厂，致力于光源与光学计设的开发及应用，并拓展光学技术的范围与深度。其光的技术，从「照明」领域拓展至高科技产业与科学技术的领域，无论是「光」或「能源」均广泛地应用，今日从远红外线到真空紫外线、灯管到镭射与EUV方面，身为具备齐全产品系列的光源制造厂，从半导体或液晶等电子产业开始，到映像、影像、OA、照明领域等方面，受到各界较高的评价。

基础研究

使用各种分析仪器，以进行光源开发上必要的材料研究。

各种分析技术

为了能有效率地进行光源材料，光源设计以及用途开发，本公司备有各种分析仪器，加上精心设计独特的装置及分析技术，以实施高精度且'有效率的分析。

光源的光学特性评估技术

可通过光源开发上之配光测量，或是真空紫外线到红外线的分光测量来实施特性评估。

模拟

开发独特的模拟技术，有助于在光源开发上，测量与评断光源内部的热或气体的流动等。

开发大范围波长之各种光源

开发适用于10nm～103nm订单之灯具与镭射等各种光源。