13915577898

article

技术文章

当前位置:首页技术文章简介半导体实验室日本MIKASA曝光机旋涂机涂覆机光刻胶MA-20MS-B300

简介半导体实验室日本MIKASA曝光机旋涂机涂覆机光刻胶MA-20MS-B300

更新时间:2026-06-09点击次数:21

日本 MIKASA 公司有 MA-200 型号的曝光机,该公司曝光机型号主要有 MA-10、MA-20、MA-60F 等。其中 MA-20 曝光机的相关信息如下:

  • 操作方式与对准精度:属于手动操作、接触式对准曝光机,使用 20× 对物镜时,对准精度 < 1.2μm。

  • 基板适用范围:有可对应 5×5mm-100×100mm 以及 1 英寸 - 6 英寸基板的各类机种,适用范围较广。

  • 曝光波长:曝光波长为多频率(h.i.g 线),可满足不同光刻胶对曝光波长的要求。

对准曝光机

MA-10B  MA-10B MA-20

MA-60F M-1S M-2LF

旋转涂布机

MS-B100 MS-B150  MS-B200

MS-B300 MS-B200(密閉型) MS-B300(密閉型)

显影刻蚀机

AD-1200 AD-3000

ED-1200  ED-3000

對準曝光機 - MaskAligner -

简介半导体实验室日本MIKASA曝光机旋涂机涂覆机光刻胶MA-20MS-B300

简介半导体实验室日本MIKASA曝光机旋涂机涂覆机光刻胶MA-20MS-B300


■ 特點


手動操作、接觸式對準曝光機。
依照不同需求以及成本考量・有準直儀型・多面鏡型・整合(積算器)型三種曝光光源。
有可對應5×5mm~100×100mm以及
1 inch~6 inch的基板的各類機種。
Mask Holder・載台的更換作業簡單易行,可在1分鐘内完成,適合用於研究開發。
對準顯微鏡的對物鏡可對應高對準精度或厚膜等用途,並且有4×、10×、20×三種。

■ 共通規格

接觸方法

軟性接觸/ 硬性接觸 (部分選配)

對準精度

使用對物鏡20×時<1.2μm(M-1S除外)

對準顯微鏡

雙視野顯微鏡 對物鏡間隔18~60mm
(M-1S除外)

曝光波長

多頻率(h.i.g線)

简介半导体实验室日本MIKASA曝光机旋涂机涂覆机光刻胶MA-20MS-B300



简介半导体实验室日本MIKASA曝光机旋涂机涂覆机光刻胶MA-20MS-B300


简介半导体实验室日本MIKASA曝光机旋涂机涂覆机光刻胶MA-20MS-B300


■ 特點
  ■ 機械手平台移動±50 mm,便於對齊
  ■ 通過在可移動部件上設置傳感器來防止故障
  ■ 輕量化設計※我們的MA-10比較
  ■ 防止面罩掉落的取出板※根據面罩玻璃規格製造
  ■ 還支持不規則尺寸的基材*根據基材生產真空吸附樣品架


简介半导体实验室日本MIKASA曝光机旋涂机涂覆机光刻胶MA-20MS-B300

简介半导体实验室日本MIKASA曝光机旋涂机涂覆机光刻胶MA-20MS-B300

規格

基板尺寸

MAX4 inch

Mask尺寸

MAX 5×5 inch

UV燈箱

準直儀型

照度

>8mW/cm2

照度均一性

<±8.5%

硬性接觸

對準點間隔測長功能

不可裝配

UV燈累計光量計

不可裝配

防震台

選配

外形尺寸(mm)

750W×600H×650D



简介半导体实验室日本MIKASA曝光机旋涂机涂覆机光刻胶MA-20MS-B300


简介半导体实验室日本MIKASA曝光机旋涂机涂覆机光刻胶MA-20MS-B300

简介半导体实验室日本MIKASA曝光机旋涂机涂覆机光刻胶MA-20MS-B300

简介半导体实验室日本MIKASA曝光机旋涂机涂覆机光刻胶MA-20MS-B300

简介半导体实验室日本MIKASA曝光机旋涂机涂覆机光刻胶MA-20MS-B300

規格

基板尺寸

MAX4 inch

Mask尺寸

MAX 5×5 inch

UV燈箱

多面鏡型

照度

>14mW/cm2

照度均一性

<±4.0%

硬性接觸

對準點間隔測長功能

UV燈累計光量計

防震台

配件

外形尺寸(mm)

1000W×1300H×800D
(包含防震台尺寸)



線寬

1μm  L&S

光刻劑

OFPR-800LB(東京應化製)

膜厚

1μm


简介半导体实验室日本MIKASA曝光机旋涂机涂覆机光刻胶MA-20MS-B300

简介半导体实验室日本MIKASA曝光机旋涂机涂覆机光刻胶MA-20MS-B300

简介半导体实验室日本MIKASA曝光机旋涂机涂覆机光刻胶MA-20MS-B300

简介半导体实验室日本MIKASA曝光机旋涂机涂覆机光刻胶MA-20MS-B300

简介半导体实验室日本MIKASA曝光机旋涂机涂覆机光刻胶MA-20MS-B300

規格

基板尺寸        

MAX6 inch

Mask尺寸

MAX 7×7 inch

UV燈箱

整合型

照度

>18mW/cm2

照度均一性

<±5.0%

硬性接觸

對準點間隔測長功能

UV燈累計光量計

防震台  

配件

外形尺寸(mm)

1130W×1650H×800D
(包含防震台尺寸)


简介半导体实验室日本MIKASA曝光机旋涂机涂覆机光刻胶MA-20MS-B300

简介半导体实验室日本MIKASA曝光机旋涂机涂覆机光刻胶MA-20MS-B300

简介半导体实验室日本MIKASA曝光机旋涂机涂覆机光刻胶MA-20MS-B300

简介半导体实验室日本MIKASA曝光机旋涂机涂覆机光刻胶MA-20MS-B300

简介半导体实验室日本MIKASA曝光机旋涂机涂覆机光刻胶MA-20MS-B300

規格

顯微鏡

雙眼實體顯微鏡

基板尺寸

MAX3 inch

Mask尺寸

MAX 4×4 inch

UV燈箱

準直儀型

照度

>8mW/cm2

照度均一性

<±8.5%

硬性接觸

選配

對準點間隔測長功能

不可裝配

UV燈累計光量計

不可裝配

防震台

選配

外形尺寸(mm)

800W×730H×500D


简介半导体实验室日本MIKASA曝光机旋涂机涂覆机光刻胶MA-20MS-B300

简介半导体实验室日本MIKASA曝光机旋涂机涂覆机光刻胶MA-20MS-B300

简介半导体实验室日本MIKASA曝光机旋涂机涂覆机光刻胶MA-20MS-B300

简介半导体实验室日本MIKASA曝光机旋涂机涂覆机光刻胶MA-20MS-B300

简介半导体实验室日本MIKASA曝光机旋涂机涂覆机光刻胶MA-20MS-B300

简介半导体实验室日本MIKASA曝光机旋涂机涂覆机光刻胶MA-20MS-B300

規格

基板尺寸

MAX6 inch

Mask尺寸

MAX 7×7 inch

UV燈箱

整合型

照度

>18mW/cm2

照度均一性

<±5.0%

硬性接觸

選配

對準點間隔測長功能

不可裝配

UV燈累計光量計

不可裝配

防震台

配件

外形尺寸(mm)

1000W×1685H×800D
(包含防震台尺寸)


简介半导体实验室日本MIKASA曝光机旋涂机涂覆机光刻胶MA-20MS-B300

代理销售各类工业品:SIMCO思美高(离子棒),SSD西西蒂(离子风扇),KASUGA春日(离子棒)、USHIO牛尾(点光源)CCS西西爱视,AITEC艾泰克(光箱、光源、圆形环形光),LEIMAC 雷马克、HOYA光源

,REVOX莱宝克斯,Hitachi日立科学仪器、MUSASHI武藏点胶机(点胶机),Nordson诺信EFD(点胶机),IEI岩下(点胶机),EPSON爱普生机器人,KURABO仓纺(脱泡机),日本THINKY新基脱泡机,TAGAWA十川(软管),SHOWA昭和电机(鼓风机),TSUBAKI椿本链条,KIKUSUI菊水(电源),CEDAR思达(扭力测试仪),MEISEI迈泽(电热剥线器)、artray相机、TAKASAGO高砂制作所(直流电源)、RION理音(测振仪)、HOKUTO DENKO北斗电工、TML东京测器、SIGMAKOKI西格玛光机、FLOWELL 福威、ASAHI旭有机材、KYOWA共和(应变片)、ONOSOKKI小野(传感器)、FUJIKURA藤仓(单向阀)、SK新泻精机(水平测量尺)SKSATO佐藤(温度记录仪)、TECLOCK得乐(硬度计)、AND爱安得(电子天平)、KEM京都电子(水分仪)、TOHNICHI东日(扭力扳手)、ULVAC爱发科泵、IWAKI易威奇、SAN-EI三英(点胶阀)(泵)、kashiyama柏山(干式泵)、MARUYAMA丸山(泵)、、Kanetec强 力(高斯计)、SAKURAI樱井(无尘纸)、NIRECO尼利可(传感器)、TOFCO东富科(流量计)、eoptics颐光科技(反射膜厚仪)、TOKYO KEISO东京计装(超声波液位计)、RKC理化工业(数显控制器)、YAMATO雅玛拓(恒温箱)、YAMADA雅玛达(隔膜泵)、KOFLOC小岛(浮子流量计)、KITZ开滋(阀门)、CKD喜开理(气缸)、NYS西村化工(半导体)、三菱重工MHI 蜗轮减速机、Kanomax加野、PISCO碧士克、TOYO光通信器、FUJILATEX***精器、MIKI PULLEY三木普利、KONSEI近藤製作所 、SGK昭和技研、KOSEMK考世美、shibuya涩谷光学、hakko八光电机、Iwasaki岩崎、OTSUKA大塚电子(光学膜厚仪)、KOSAKA小坂(台阶仪)、HORIBA堀场仪器(分析仪)、SIBATA柴田科学(环境测定)、TORAY东丽浓度仪(氧气分析仪)、yamada山田卤素强光灯、CEDAR思达、MIKASA米卡萨(旋涂设备、显影)、POLARION普拉瑞、otsuka大塚(膜厚仪、粒度仪)、Tsubosaka壶坂电机,IMV爱睦威,PISCO匹士克接头,hakko八光电机,lambda拉姆达膜厚








服务热线
13915577898

扫码加微信