爱发科 蒸发设备：蒸发Ei系列 ei-5z 美萨代理系列

蒸发设备：蒸发Ei系列 ei-5z

1. Batch式高真空蒸发设备ei系列是可对应在基板上成金属膜或氧化物膜的设备。可通过操作面板进行集中控制，实现抽真空、成膜等作业内容的集中自动化操作，适用于研究开发及少量生产2.蒸发材料：金属，ITO，二氧化硅等材料

2. 产品特性 / Product characteristics

   
   

3. 金属，合金，非金属，化合物等材料的高品质蒸发镀膜

4. • 镀膜精度高，可达10E-10m

5. • 蒸发镀膜的纯度高，附着力强

6. • 镀膜的均匀性好，重复性优异

7. • 配置离子源进行表面处理

8. • 配置热阻蒸发，省材料

9. • 上位通信，材料扫描功能

10. • C2～12inch，不定型片，方片蒸发

    
    

    以"真空技术"为产业和科学的发展做出贡献，开创美好未来。

    在爱发科集团的核心：株式会社爱发科中，规格品事业部开发·制造·销售与真空技术相关的多种多样的真空机器，除了用于"创造真空"的真空泵·阀门·配管部件和用于"看见真空"的真空计·工艺气体监控器·检漏仪等测量仪器之外，还有在成膜工艺中用于"制膜"的成膜用电源，用于"观察膜"的椭偏仪，用于"搬送晶圆"的真空搬送机械手等。

    我们的产品不仅构成真空设备，还成为支撑汽车、空调等家电、材料工程、医疗医药、生物技术等各种产业的关键技术。

    
    

    从真空泵、计测仪器、成膜用电源、真空搬送机械手、各种分析仪到真空阀、法兰、端子等各种构成部件，开发、设计和制造多种多样的真空机器。

    ULVAC, Inc.