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更新时间:2026-04-10
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接触式/接近式光刻装置。特征
产品特征:
●机械手平台可移动±50 mm,便于对齐
●在可移动的部件上设置传感器,防止误操作
●更轻量化的设计 ※与本公司的MA-10比较
●防止面罩掉落的抽板※根据面罩玻璃规格制造
●适配不规则尺寸的基板*根据基板样式真空吸附

产品规格:
*式样、规格可能会有变化,恕不另行通知;
*更多信息欢迎咨询我们。
最大基板尺寸
φ4英寸
最大基板厚度
2毫米
最大掩模尺寸
5 x 5英寸
照度
>8mW/cm2(At405 Nm)
企业理念
经营理念
1使企业的繁荣与每一位员工的人生充实一致。
2在国际市场上提供具备充分竞争力的产品与服务。
3通过优质产品、新技术的研究与开发为不断进步的社会做贡献。
4通过开放、自由的企业活动,提高竞争力。在确保稳定利润的同时成就企业的社会责任。
5大经营焦点
1创造更大社会价值的事业
2提升人才质量实现愿景
3提供易于产出成果的职场环境
4持续减轻环境负荷
5建立强健稳固的经营基础