TOFCO 东富科 半导体酸碱清洗、超纯水、腐蚀药液流量计

• 科赋乐：微小气体 MFC、浮子流量计更强，侧重氮气 / 氩气工艺气、离子风机吹扫气路；

• 东富科：防腐液体流量计、药液流量自动控制器优势极大，半导体酸碱清洗、超纯水、腐蚀药液是强项，气体产品线性价比更高、交期更快。

二、气体流量计系列（产线吹扫、工艺氮气常用）

1. FM 系列 面积式玻璃浮子流量计（走量主力，对标 KOFLOC RK1400）

主流型号

1. FM-PZ / FM-PX20/PX25（通用工业款）

• 介质：空气、N₂、Ar、O₂、压缩空气

• 量程：0.1~100L/min，耐压 1MPa，精度 ±2% FS

• 材质：玻璃管 + SUS316 浮子 + FKM 密封，可选上下限流量报警开关

• 应用：SSD 离子棒供气监测、点胶机吹扫、设备氮气保护、实验室简易气路

2. FC-CX24/CX30/FC-SM（嵌入式小型款）

• 超薄机身，适合设备机身内置狭小空间安装

• 微量量程 0.05~20L/min，低成本替代 RK20T

3. DUO-PX 双管一体式

   双通道同步监测两路气体，涂布机双路吹扫专用。

2. BY-OM 分流式大流量流量计

• 中大流量管路专用，通过旁路分流测总流量，表头可分离拆装，维护方便

• 法兰连接 DN25~DN100，适合烘箱、大型设备集中供气大流量监测

3. THP 系列 热式气体质量流量控制器 MFC（自动闭环控气）

核心特点

• 量程：10SCCM~50SLM，精度 ±1% FS

• 信号：0-5V、4-20mA、RS485 Modbus，支持多气体切换（N₂/ 空气 / Ar）

• 密封规格：标准禁油洁净型，可选全金属 VCR 密封适配轻微腐蚀特种气体

• 适用：等离子清洗、小型镀膜、涂布机工艺氮气配比，对标科赋乐 3660、DF300C，价格更有优势、货期更短。
  
  

• 1. PFA 全防腐面积式流量计（强酸强碱专用）

• 全流道 PFA 特氟龙材质，无金属接触药液，可视浮子直观观察药液流动

• 介质、盐酸、显影液、蚀刻液、各类半导体清洗药液

• 无金属污染，适配 8/12 寸晶圆湿清洗设备，是日系设备标配选型

• 2. VK 系列 卡门涡街流量计（纯水 / 冷却水路通用）

• VK-HR 微小口径、VK-T 通用液体款

• 无活动部件，结构耐用，精度 ±1.0% R，量程比 10:1~25:1

• 材质：SUS316/PFA 可选，输出脉冲 / 4-20mA，接入 PLC 自动监控

• 应用：设备水冷回路、超纯水循环、清洗纯水管路监测，对标科赋乐 FM0101

• 3. HF-PEA 叶轮式流量计（高性价比液体计量）

• 流体推动 PFA 叶轮旋转测流量，结构简单、价格低，出货量第一

• 量程 0.1~10m³/h，DN10~DN50，可选流量报警、模拟输出

• 适用：冷却水、去离子水、低粘度药液量产低成本方案

• 4. 超声波流量计（超纯水高精度测量）

• 全 PFA 流路、无阻挡件、压损极低，适合高洁净超纯水，带本地流量显示屏，4-20mA 信号输出，晶圆纯水循环专用

• 四、液体自动流量控制器 FLC 系列（东富科产品）

• 型号：FLC600、FLC700、MH-FLC600

• 结构：流量计 + 电磁比例球阀 + 一体控制器集成，实时检测流量自动调节阀门，压力波动下流速恒定；

• 流路无障碍物，不易被药液杂质堵塞，解决湿制程流量不稳、清洗不均问题；

• 适配：蚀刻、显影、剥离药液自动控液，半导体清洗机、面板湿法设备标配，科赋乐无同类型一体化液体控流产品。