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TRINC 株式会社(高柳)是无风式全域空间除静电TAS-812SMT维修中心

更新时间:2026-07-22点击次数:20

TRINC 株式会社(高柳)是无风式全域空间除静电TAS-812SMT维修中心
TRINC特林科 株式会社(高柳)是无风式全域空间除静电,拥有「无风除电 ®」「空间除电 ®」注册商标,核心解决普通离子风扇吹风扬尘、吹飞薄基板、静电吸附颗粒的痛点,是半导体旋涂、光学涂布、晶圆检测工位标配,和 SSD 西西蒂吹风式离子风扇形成差异化互补。

一、核心技术原理( TAIBS 闭环离子平衡控制)

  1. 无风离子扩散技术(行业最大差异化)

    正负离子电极独立放电,同极性离子相互排斥,无需风扇、压缩空气,离子自然扩散覆盖整片空间;避免气流扬起粉尘、吹薄晶圆 / 光学膜,适配 MIKASA 旋涂机腔体、光刻涂布工位。

  2. TAIBS 实时闭环反馈离子平衡

    内置实时离子传感器,持续自动修正正负离子输出,长期连续运行离子平衡稳定 **≤±5V**,远优于普通风机 ±10~±30V 漂移,不会击穿感光晶圆、精密芯片。

  3. 无漏电绝缘放电结构

    高压回路与外壳电气隔离,无外壳漏电风险,适配 IPA、光刻胶等易燃易爆有机溶剂防爆工况,无打火引燃隐患。

二、全系列主流空间除电产品线(按使用场景划分)

1. SPACE TRINC 全域空间除电棒(大面积工作台 / 洁净区)

型号:TAS-811 SFS-0155/0250/0390/0530/0950/1510/1930
  • 适用:整条流水线、FOUP 开盖区、旋涂设备外围全域空间

  • 有效距离:无风状态最远 2m,单根覆盖宽幅 1.9m,多根拼接可覆盖整间无尘室

  • 优势:打造局部「无静电洁净空间」,不用改造土建百级洁净房,粉尘吸附不良降低 90% 以上

  • 配套:可选一键自动清洁组件,远程 PLC 启停、故障报警输出

2. Smart TRINC TAS-810 SMT-SFS / TAS-817 SMTW-SFS(桌面单工位空间除电)

桌面立式 / 壁挂微型空间发生器,专为旋涂操作台、镜片检测台、芯片摆盘工位设计
  • 尺寸小巧:200×40×35mm,功耗仅 20W,摆放不占用设备空间

  • 无风覆盖范围:400×400mm 工作台全域,近距离 1 秒消除 1000V 静电

  • 适配:实验室研发旋涂机、光学镜头组装、小型晶圆检测工位

3. BAR TRINC TAS-32 BA 系列(设备内嵌长条无风离子棒,半导体核心款)

专为旋涂机腔体、涂布机、传送轨道内置安装设计,分多长度:0190~2890mm 可选
  • 独立多段 IMS 分区离子控制,长棒两端离子浓度均匀无衰减

  • 可选 N₂氮气包覆接口,腔体高浓度溶剂环境隔绝水汽、延长电极寿命

  • 支持外部 24V PLC 联动,设备开门 / 旋涂启动同步开启除静电,电极磨损、高压异常继电器报警输出

  • 离子平衡稳定 ±5V,连续 7×24 小时产线运行无漂移

4. DCSC 系列 落地式空间洁净除电一体机(大面积车间)

型号:TAS-1782 DCSC-2200HEPA 高效过滤 + 无风空间除电二合一,无需厂房改造,快速搭建局部低尘无静电区域
  • 风量 2200m³/h,15 分钟完成区域空间离子中和 + 粉尘过滤

  • 适配面板厂、大型涂布车间、批量晶圆预处理区域

5. TAS-112 SPOT 小型无风 / 吹风两用单点除电器

可切换无风 / 微风模式,旋涂机滴胶阀、阀组狭小缝隙局部定点除静电;微风模式可吹除工件表面附着颗粒,无风模式用于腔体内部防扬尘。

三、TRINC 空间除电核心优势(对标 SSD 吹风式离子风扇)

1. 无风设计,从根源杜绝扬尘不良

普通 SSD 离子风扇依靠气流输送离子,风会卷起空气中浮尘,静电中和同时把颗粒吹到光刻胶、晶圆表面,产生针孔、划痕缺陷;TRINC 无风扩散离子,全程无气流扰动,浮尘不会二次附着工件,大幅提升旋涂、涂布良率。

2. 超高稳定离子平衡,不伤感光材料

  • 长期运行平衡≤±5V,SSD 常规机型稳定区间 ±10V,长时间运行漂移至 ±30V;

  • 低偏压不会击穿光刻胶、薄氧化层、Mini LED 微元件,适配半导体精密感光制程。

3. 超低臭氧、洁净低发尘电极

  • 脉冲直流放电,臭氧释放量<0.03ppm,低于 SEMI 半导体标准,不会氧化 IPA、光刻胶等有机感光材料;

  • 钨合金 / 可选硅材质放电针,金属磨损析出极少,超洁净 1 级无尘室可使用。

4. 低功耗、长寿命、免频繁维护

  • 单支空间棒功耗仅 20~25W,全年连续运行电费极低;

  • 电极无高速气流冲刷损耗,清洁周期 6~12 个月,SSD 风机 3 个月就要清理滤网、电极;

  • 可选一键自动清洁配件,无需拆机擦拭电极。

5. 防爆安全适配湿制程易燃易爆环境

无外露高压放电、外壳无漏电,旋涂、显影机充满 IPA 蒸汽的密闭腔体可安全内置;EX 防爆选配款满足 Zone1 本安防爆等级。


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