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日本株式会社 MIKASA米卡萨MS-B100 / MS-B150 实验室旋涂机（匀胶机）
更新时间：2026-07-29
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MIKASA（米卡萨）MS-B100 / MS-B150 实验室旋涂机（匀胶机）全资料
一、产品概述
MS-B100：4 寸及以内小基板专用
MS-B150：6 寸晶圆 / 100mm 方片通用款
产品核心优势
洁净适配：无刷伺服无碳粉扬尘，连续长时间运行温升低，膜厚重复性 ±0.6% 以内，光刻胶 / PI 胶 / 光学胶通用；
可编程工艺：分段提速、保速、降速自定义，可存储多款产品工艺，一键调取配方；
安全设计：标配真空欠压保护、上盖选配安全联锁，超薄易碎晶圆可自定义真空吸附阈值防破片，方形基板可设定停机定位；
拓展选配：自动滴胶装置、多规格真空吸盘（2/3/4/6 寸）、有机玻璃密闭防尘罩、废气收集套件（B150 支持滴胶选配，B100 原厂不支持外置滴胶）。
四、适用涂布材料 & 行业
涂布介质
应用领域
半导体研发：分立器件、晶圆芯片试样光刻工艺；
光电行业：光学玻璃、滤光片、FPD 显示基材涂膜；
科研院校：微电子、材料、光学实验室教学试验；
PCB / 微电子：小片基板阻焊、干膜预处理涂覆。
六、选型建议
试样≤4 寸片、实验室小试 → MS-B100
常用 4/5/6 寸晶圆、多规格基板 → MS-B150（主流热销）
在科技日新月异、制造业不断追求**的今天，美萨公司凭借其对市场需求的敏锐洞察和*的技术研发实力，隆重推出了 MIKASA 品牌的全新旋转涂布机——MIKASA MS - B150。这一新品的亮相，无疑为半导体制造等相关行业带来了新的发展契机。
产品概述
2025年7月最新发布MIKASA MS-B150是一款小型高性能旋涂机，属于日本MIKASA品牌，适用于洁净室环境，主要用于半导体等行业的薄膜涂布工艺。该产品在防止污染、温度控制及膜厚精度方面表现出色。
核心特点
洁净室适配性：采用AC伺服无刷电机，减少发热及污染物产生，适合洁净室连续运行。
高精度控制：转速精度达±1rpm（负载时），膜厚再现性优异。
操作灵活性：支持100步×10种模式的步进控制，可自定义涂布流程。
技术规格
适用场景与应用行业
半导体制造：晶圆表面涂层制备。
精密电子：小型基板的均匀涂布工艺。
科研实验：实验室级薄膜材料研发。
代理销售各类工业品:，USHIO牛尾（点光源）CCS西西爱视，AITEC艾泰克（光箱、光源、圆形环形光），LEIMAC 雷马克、HOYA光源
，REVOX莱宝克斯，Hitachi日立科学仪器、SIMCO思美高（离子棒），SSD西西蒂(离子风扇)，KASUGA春日(离子棒)、MUSASHI武藏点胶机（点胶机）,Nordson诺信EFD（点胶机），IEI岩下（点胶机），EPSON爱普生机器人，KURABO仓纺（脱泡机），日本THINKY新基脱泡机，TAGAWA十川（软管），SHOWA昭和电机（鼓风机），TSUBAKI椿本链条，KIKUSUI菊水（电源），CEDAR思达（扭力测试仪），MEISEI迈泽（电热剥线器）、artray相机、TAKASAGO高砂制作所（直流电源）、RION理音（测振仪）、HOKUTO DENKO北斗电工、TML东京测器、SIGMAKOKI西格玛光机、FLOWELL 福威、ASAHI旭有机材、KYOWA共和（应变片）、ONOSOKKI小野（传感器）、FUJIKURA藤仓（单向阀）、SK新泻精机（水平测量尺）SKSATO佐藤（温度记录仪）、TECLOCK得乐（硬度计）、AND爱安得（电子天平）、KEM京都电子（水分仪）、TOHNICHI东日（扭力扳手）、ULVAC爱发科泵、IWAKI易威奇、SAN-EI三英(点胶阀）（泵）、kashiyama柏山（干式泵）、MARUYAMA丸山(泵)、、Kanetec强 力(高斯计)、SAKURAI樱井(无尘纸)、NIRECO尼利可(传感器)、TOFCO东富科(流量计)、eoptics颐光科技(反射膜厚仪)、TOKYO KEISO东京计装(超声波液位计)、RKC理化工业(数显控制器)、YAMATO雅玛拓（恒温箱）、YAMADA雅玛达(隔膜泵)、KOFLOC小岛(浮子流量计）、KITZ开滋(阀门)、CKD喜开理(气缸)、NYS西村化工(半导体)、三菱重工MHI 蜗轮减速机、Kanomax加野、PISCO碧士克、TOYO光通信器、FUJILATEX***精器、MIKI PULLEY三木普利、KONSEI近藤製作所 、SGK昭和技研、KOSEMK考世美、shibuya涩谷光学、hakko八光电机、Iwasaki岩崎、OTSUKA大塚电子（光学膜厚仪）、KOSAKA小坂（台阶仪）、HORIBA堀场仪器（分析仪）、SIBATA柴田科学（环境测定）、TORAY东丽浓度仪（氧气分析仪）、yamada山田卤素强光灯、CEDAR思达、MIKASA米卡萨（旋涂设备、显影）、POLARION普拉瑞、otsuka大塚（膜厚仪、粒度仪）、Tsubosaka壶坂电机,IMV爱睦威,PISCO匹士克接头,hakko八光电机,lambda拉姆达膜厚
