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更新时间:2026-08-18
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PISCO真空发生器VJPA-060606-D24L-WVJP 系列:真空泵对应单元(外接真空泵,非喷射式真空发生器),VJPA=双电磁阀保持型(真空保持)单体单元,半导体设备常用,外接负压真空泵气源,自带真空破坏、破真空压力 / 流量双调节、真空压力传感器
破真空双调节:压力 + 流量双重可调,带泄压回路
普通品牌大多只有流量针阀调节;PISCO 综合型 / VJP 单元,同时调节破真空压力 + 破真空流量,内置泄压阀,多余压力直接泄放,释放芯片、薄载板不会被吹飞,释放节拍还可以缩短。
VJPA‑060606‑D24L‑W 就是该机制,对切割芯片、薄晶圆非常友好。
双电磁阀保持型 (A 型号) 可选,断电保真空
VJPA 双保持电磁阀,吸附完成后双阀关闭,设备掉电瞬间维持真空吸附,不会立刻掉料;同时电磁阀断电不耗电,降低功耗,半导体设备安全冗余很高。
竞品大多只有单阀,断电直接释放工件。
PS 口(06) → 接外部真空泵负压源
V 口(06) → 接吸盘 / 载具(吸附工件)
P 口(06) → 接正压压缩空气(破真空气源)
吸附:吸附电磁阀 ON;破坏阀 OFF;PS 负压连通 V 口,产生真空吸附
保持:双阀全部 OFF,阀内部锁止,维持吸盘真空(VJPA 最大特点,断电保真空)
释放:破坏电磁阀 ON;受控正压通入 V 口,可调压力 + 流量,柔和破真空,避免吹飞轻薄芯片工件
W 型号带数显,可 PLC 同时读取开关信号 + 模拟真空压力。
破真空有双重调节:压力旋钮 + 流量针阀;芯片薄片务必调小,避免工件被吹飞。
内置滤芯 VJFF,芯片切割场景要定期更换,防止粉尘污染传感器。
双保持阀优势:设备瞬间掉电,吸盘不会立刻掉件,适合半导体晶圆 / 芯片载板抓取。
