YAMADA高亮度卤素光源装置山田光学工业YP-150I

YAMADA高亮度卤素光源装置山田光学工业YP-150I

超高照度目视检出微小缺陷：可识别约 0.2μm 级微划痕、雾斑、抛光残留、滑移线、表面颗粒，多用于晶圆、玻璃基板目视抽检秋山科技（...。

连续卤素光谱：相比 LED 检查灯，无蓝光偏色，真实还原表面色差纹理，降低目视误判；缺点是灯泡寿命短，属于高频消耗品。

冷镜降热：热辐射大幅削弱，薄晶圆、光学膜片短时间检测不易受热翘曲变形。

直流点灯电路，照度稳定性好，适合产线 QC 工位目视检查

半导体：Si/SiC 晶圆 CMP 抛光后划痕、雾状缺陷、滑移线、颗粒异物目视检查

显示：LCD/OLED 玻璃基板、ITO 镀层表面缺陷检查

光学：光学镜片、石英玻璃表面划痕、脏污检查

对比 YP‑250I

YP‑150I：光斑 φ30mm，工作距离 140mm，150W，适合 6 寸及以下晶圆小区域检测

YP‑250I：光斑 φ40mm，工作距离 220mm，250W，适合 8 寸大基板，整机体积更大

1. 超高照度目视检出微小缺陷：可识别约 0.2μm 级微划痕、雾斑、抛光残留、滑移线、表面颗粒，多用于晶圆、玻璃基板目视抽检秋山科技（...。

2. 连续卤素光谱：相比 LED 检查灯，无蓝光偏色，真实还原表面色差纹理，降低目视误判；缺点是灯泡寿命短，属于高频消耗品。

3. 冷镜降热：热辐射大幅削弱，薄晶圆、光学膜片短时间检测不易受热翘曲变形。

4. 直流点灯电路，照度稳定性好，适合产线 QC 工位目视检查。

典型应用场景

• 半导体：Si/SiC 晶圆 CMP 抛光后划痕、雾状缺陷、滑移线、颗粒异物目视检查

• 显示：LCD/OLED 玻璃基板、ITO 镀层表面缺陷检查

• 光学：光学镜片、石英玻璃表面划痕、脏污检查