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更新时间:2026-09-17
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不需要风扇、不需要 CDA 压缩空气辅助吹风,依靠正负离子自身扩散充满整个空间。
洁净室层流不会被气流打乱,不会把地面 / 治具上堆积粉尘吹起二次污染工件(SSD 离子风机有风扇吹风,会扬起微粒,这是最大区别)
光学镜片、镀膜、晶圆检测工位友好,不会扰动气流影响光学检测光路
普通离子风机只对工件表面除电;TRINC 空间型可以电离整个空间,让空气中漂浮带电粉尘也中和掉电荷,粉尘不再吸附到产品表面,从源头降低异物不良,实现 “无墙防尘" 效果株式会社T...。
金属、半导体、绝缘体(树脂、玻璃、薄膜)全部有效
可覆盖整个工作台、FOUP 开盒区域、设备腔体,工件在空间内移动全程保持低静电,不是单点一次性除电
传统防静电很多靠加湿提升环境导电;干燥冬季湿度低时静电不良爆发。TRINC 靠空间离子化,无需加湿,依然维持空间静电抑制;人员在该空间内作业,人体静电也会被中和,很多场景可以不用佩戴防静电腕带,简化产线管理。
一根离子棒内部拆分为多个独立电离单元,每段独立闭环离子平衡反馈控制:
某一段放电针脏污 / 故障,其余单元继续工作,不会整机停机;故障仅局部失效,不造成整条产线 ESD 失控
可输出状态信号给 PLC 远程监控,适合 24h 连续生产的半导体产线
离子平衡长期稳定,没有脉冲式离子器常见的离子平衡波动问题株式会社T...
单根空间棒有效距离可达 3m,多根串联拼接,可自由扩大无静电区域;吊装在设备顶部 / 洁净台上方,不占用工作台操作空间。适合:FOUP 开盖区、晶圆载盘周转区、光学检测工位、基板来料检验台。
臭氧产生极低,不会腐蚀光学镀膜、树脂零件
功耗很低,单根棒仅几瓦;放电针寿命长,支持一键旋转式清洁,维护简单
高压回路与空气通路分离,耐脏污,漏电风险低