日本进口TOFCO东富科面积式流量计（清洁）
TOFCO东富科面积式流量计FM-PG25‌ 是一款专为气体测量设计的高精度、可视化流量监测设备，广泛应用于半导体制造、光伏、新能源及洁净室自动化产线中，具备稳定可靠、响应迅速、维护简便等优势。

日本进口TOFCO东富科面积式流量计（清洁）

TOFCO东富科面积式流量计FM-PG25‌ 是一款专为气体测量设计的高精度、可视化流量监测设备，广泛应用于半导体制造、光伏、新能源及洁净室自动化产线中，具备稳定可靠、响应迅速、维护简便等优势。

该型号属于‌锥型玻璃管可视型面积式流量计‌，通过浮子在锥形玻璃管内的升降位置直观反映气体流量大小，无需外部供电即可实现现场实时读数，适用于对安全性和洁净度要求工业环境。

核心特点与技术参数

1. ‌结构与材质‌

‌锥形管‌：采用高硼硅玻璃，耐热、抗破裂，确保长期使用不老化。

‌主体材质‌：SUS304/SUS316不锈钢，具备优异的耐腐蚀性与机械强度。

‌密封件‌：FKM氟橡胶（Viton），耐高温、耐化学腐蚀，符合SEMI F57洁净标准，适用于高纯气体系统。

‌安装方式‌：垂直安装，介质自下而上流动，确保浮子自由浮动，测量准确。

2. ‌适用介质与工况‌

‌测量介质‌：适用于空气、氮气（N₂）、氧气（O₂）、氩气（Ar）等洁净气体。

‌最大工作压力‌：≤0.8 MPa（G）

‌环境温度‌：0～50℃（避免结露）

‌精度等级‌：±2.5% FS 至 ±5% FS

‌连接方式‌：标准螺纹接口（如RC1/4、RC1/8），便于集成于气路系统。

3. ‌功能扩展性‌

‌报警输出‌：可选配干簧管A接点（常开），支持DC 0–24V、0.2A负载，用于流量异常时触发联锁保护。

‌远传信号‌：可加装磁耦合变送器，输出4–20mA标准信号，接入PLC或SCADA系统实现远程监控。

‌免供电运行‌：纯机械结构，无电气部件，适用于防爆、低功耗或本质安全场景。

4. ‌典型应用场景‌

半导体工艺气体流量监控（如CVD、PVD、蚀刻）

光伏产线中的保护气体（N₂、Ar）流量管理

生物制药设备中的洁净空气吹扫系统

实验室气路系统与小型反应装置

日本进口TOFCO东富科面积式流量计（清洁）

规格：

标准尺寸：

结构图:

材质：

面板图：