国内代理TOFCO东富科质量流量控制器
日本进口TOFCO东富科质量流量控制器‌ 是一类高精度、高稳定性的流体控制设备，专为半导体、新能源、精密化工等对气体或液体流量控制要求严苛的工业场景设计，能够实现对质量流量的精准测量与闭环调节。

国内代理TOFCO东富科质量流量控制器

日本进口TOFCO东富科质量流量控制器‌ 是一类高精度、高稳定性的流体控制设备，专为半导体、新能源、精密化工等对气体或液体流量控制要求严苛的工业场景设计，能够实现对质量流量的精准测量与闭环调节。

该系列控制器基于‌热式质量流量测量原理‌（Thermal Mass Flow），直接检测流体的质量流量（单位：g/min 或 SLPM），不受温度、压力变化影响，无需额外温压补偿，响应速度快、重复性高，适用于洁净气体（如氮气、氩气、氢气）及特定液体的精确控制。

核心特性：

‌测量原理‌：采用MEMS热式传感技术，基于热传导与流速关系实现‌直接质量流量测量‌

‌控制精度‌：基本误差≤ ‌±0.5% FS‌，短期重复性可达 ‌±0.05% FS‌

‌响应时间‌：典型值≤ ‌1秒‌，满足快速工艺调节需求

‌材质配置‌：

流通部件：‌SUS316L不锈钢‌，符合高洁净与耐腐蚀标准

密封材料：‌FKM氟橡胶（FPM）‌，耐高温、耐强酸碱及有机溶剂

‌工作参数‌：

最大流量范围：‌～1500 SmL/min‌（视型号而定）

工作温度：‌5～80℃‌（精度保证：15～50℃）

接口口径：支持 ‌1/8"、1/4"、3/8" LOK/VCR‌ 等多种标准接口

‌输出与控制‌：

支持 ‌4-20mA 模拟输入/输出‌，可接入PLC实现远程设定与反馈

内置 ‌PID 控制算法‌，支持自动调节与动态补偿

可选配 ‌RS485 Modbus 通讯‌，便于系统集成与数据追溯

典型应用场景：

半导体制造中工艺气体（如SiH₄、NH₃）的精确配比与输送

氢燃料电池系统中氢气流量的高精度控制

光伏与显示面板产线中特种气体的流量调节

实验室反应装置或微流控系统的稳定供气管理

其中，代表性型号如 ‌THP-CD001C1DMaxL00SP1C2‌ 和 ‌FLC-US40-G10‌，均为日本原厂生产，具备抗电磁干扰、耐腐蚀、长寿命等优势，广泛用于制造领域。

国内代理TOFCO东富科质量流量控制器

·THP-CD系列、因为它的稳定性和可靠性被许多客户所认可能对应广泛的流量范围、可使用与多种行业领域。

·稳定性、高精确度、高再现性。

·快速响应。

·实现了对应有毒以及腐蚀性气体的构造。

·具有坑电磁波干扰的功能。

构造图：

配线图：