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产品型号:FM-PG
更新时间:2026-09-01
厂商性质:代理商
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日本进口TOFCO东富科气体用面积式流量计FM-PG

TOFCO东富科企业发展历程:
1. 1973 年:创业,定位流量测量仪器专业制造商。
2. 1974 年:株式会社东京流量计研究所正式注册成立,开启流量计研发制造。
3. 1998‑2001 年:增设鹿儿岛工厂,拓展臭氧、环境设备产品线;国内多地设立营业所,扩大日本本土业务。
4. 2000 年:取得ISO9001 质量体系认证。
5. 2002 年:启动全球化布局;设立上海海外事务所,布局中国市场。
6. 2004 年 1 月:推出综合品牌 TOFCO;2004‑09,公司正式更名为東フロコーポレーション株式会社(TOFLO CORPORATION)。
7. 2006 年:东富科精密仪器(苏州)有限公司成立,实现部分产品本地化生产组装。
8. 2007 年:流体集成配管单元 TOFPINE 上市,获得日本制造零部件大奖鼓励奖。
9. 2020 年:日本新东京事业所(八王子)建成,强化研发与测试能力。
TOFCO东富科FM‑PG‑G 属于面板安装式玻璃锥管面积式(浮子)流量计,纯机械无源目视读数,主打吹扫气场景,结构简单、耐久性强,适配中大流量气体;子型号 FM‑PG25、FM‑PG30、FM‑PG40,接口依次增大,量程逐级提高;可选择内置针阀,可选配干簧流量报警开关,广泛用于半导体吹扫、设备保护气、实验室气路。后缀 G 代表气体;W 代表液体;流向强制下进上出,垂直安装;本体无模拟输出,选配仅开关报警接点。
TOFCO 东富科气体用面积式流量计 FM-PG主要特点:
高耐久结构,专为吹扫气应用优化,是 TOFCO 吹扫场景主推型号,结构简单维护方便。
无源无需供电,玻璃管浮子目视读取流量,断电依旧可以观察气路状态。
面板嵌入式安装,自带针阀可就地手动调节气体流量;适配氮气、空气、氩气、氧气等洁净工艺气体。
可选干簧开关,实现流量过高 / 过低开关接点报警,适用于设备联锁保护。
区别 MFC 质量流量控制器:只做就地指示,不能自动闭环控制流量,无 4‑20mA 模拟输出。
TOFCO 东富科气体用面积式流量计 FM-PG典型应用:
半导体设备吹扫气、工艺保护气监测
分析仪器、热处理设备气体回路
实验室气路、各类工业设备洁净气体就地显示
TOFCO 东富科气体用面积式流量计 FM-PG使用注意事项:
必须垂直安装,流向下进上出,倾斜会直接造成读数偏差;避开强振动工况。
出厂标定为 1atm/20℃空气;实际工况压力、温度、气体种类改变,读数需要做流量换算修正。
上游建议加装过滤器;介质禁止含有粉尘颗粒,防止划伤玻璃锥管、卡滞浮子。
选配磁开关仅开关量报警;需要连续模拟信号输出,选用 DUO‑PX 系列或者 SCN‑MFC 质量流量控制器。
密封选型:普通工况 NBR;高温、弱腐蚀气体选用 FKM 氟橡胶。
日本进口TOFCO东富科气体用面积式流量计FM-PG型式:


