服务热线
13915577898





产品型号:FC-CX24
更新时间:2026-09-01
厂商性质:代理商
访问量:9
服务热线13162378218
产品分类
相关文章
日本进口TOFCO东富科气体用面积式流量计FC-CX24

日本TOFCO东富科精密仪器作为TOFLO CORPORATION(TOFCO)集团的独资企业。东富科精密仪器集合TOFCO集团的技术优势,以专门制造销售流量计以及基板检直装置进入中国半导体高新科技发展领域。东富科精密仪器悉心培养每一名中国本土的员工,并且凭借其可靠产品和源源不断的技术革新,旨在成为供应商。
日本TOFCO东富科株式会社于1973年作为流量测量仪器的专业制造商成立,并于1974年成立了株式会社东京流量计实验室,此后半个世纪以来,以流体控制技术为基础的计测器、周边设备,热转换器,环境机器等,致力于满足客户的各种需求。2002年开始我们积极的推进全球化发展,并于2004年1月推出了以
TOFCO 东富科的 FC-CX24 是一款气体用面积式(转子)流量计,属于其半导体可视型流量计产品线。它专为对洁净度、稳定性和可视化监控有较高要求的精密工业场景设计。
TOFCO 东富科气体用面积式流量计 FC-CX24核心特点:
半导体级洁净设计:表身通常采用 PMMA(丙烯) 或 PFA 等洁净、耐腐蚀材料,结构简洁,不易积尘,非常适合半导体洁净室、实验室等对环境要求苛刻的场合。
可视化监测:采用锥型玻璃管可视设计,可直观、实时地观察气体流动状态和流量大小,便于现场快速确认工艺是否正常运行或进行故障排查。
高精度与稳定性:作为半导体级产品,具备高精度和优异的测量稳定性,能够确保在光刻、蚀刻、CVD等关键工艺中气体流量的精确控制。
紧凑嵌入式结构:设计小巧,便于进行面板安装或嵌入到设备、控制柜中,节省宝贵的安装空间。
量产优势:作为成熟的量产机型,具有供货稳定、交货期短的特点,有利于降低客户的库存和等待成本。
TOFCO 东富科气体用面积式流量计 FC-CX24应用场景:
FC-CX24 主要应用于对气体流量有精确监控、高洁净及稳定性要求的场合:
半导体制造:清洗、蚀刻、薄膜沉积(CVD/PVD)等工艺环节的气体流量监测与控制。
新能源:锂电池、光伏等生产线中的高纯气体(如氮气、氩气)供应监控。
精密电子:SMT设备、自动化产线中的气动回路监测。
实验室设备:分析仪器、小型反应装置的气体流量指示。
TOFCO 东富科气体用面积式流量计 FC-CX24注意事项:
化学兼容性:由于本体为PMMA树脂,务必避免用于可能与其发生反应的化学品,以免造成裂纹或损坏。
流量换算:实际流量值需根据介质类型、温度、压力等条件进行换算修正。
安装方向:安装时必须垂直安装,并确保介质自下而上流动。
报警设定:报警开关的设定范围通常为满量程流量的20%~80%。
日本进口TOFCO东富科气体用面积式流量计FC-CX24型式:



