日本进口TOFCO东富科气体用质量流量控制器THP系列
TOFCO东富科THP 系列是其热式质量流量控制器（MFC） 的主力产品线，专为需要高精度、高稳定性的气体质量流量控制而设计。它不同于传统测量体积流量的浮子流量计，能直接测量质量流量，且结果几乎不受气体温度、压力变化的影响。

日本进口TOFCO东富科气体用质量流量控制器THP系列

日本TOFCO东富科精密仪器作为TOFLO CORPORATION(TOFCO)集团的独资企业。东富科精密仪器集合TOFCO集团的技术优势，以专门制造销售流量计以及基板检直装置进入中国半导体高新科技发展领域。东富科精密仪器悉心培养每一名中国本土的员工，并且凭借其可靠产品和源源不断的技术革新，旨在成为供应商。

TOFCO东富科THP系列 是其核心的气体质量流量控制器/质量流量计产品线。THP系列是电子式精密仪表，基于热式传感原理，能够直接、高精度地测量和控制气体的质量流量，其读数几乎不受温度和压力变化的影响。

核心特点：

直接质量测量：通过检测气体流经加热元件时的热量变化来直接测量质量流量，无需额外的温度和压力补偿，确保了在工况波动下的测量稳定性与高精度。

高精度与高再现性：典型精度可达 ±1% FS，重复性 ±0.5% FS，量程比高达 1:100，能够满足从极低流量到中等流量的精密控制需求。

快速响应：响应时间 <1秒，能够迅速响应控制指令，满足动态工艺过程的精确调节。

数字化与智能化：支持 4-20mA 模拟信号和 RS485 (Modbus RTU) 数字通信，可轻松集成至PLC、DCS或SCADA系统，实现远程监控、数据记录与高级控制。

高可靠性设计：传感器采用 316L不锈钢，无活动部件，结构坚固，免维护，抗污染能力强。部分型号具备抗电磁波干扰功能，并可选配耐腐蚀构造以应对特殊或腐蚀性气体。

适用场合:

THP系列专为对流体控制要求严苛的行业设计，广泛应用于：

半导体制造：CVD/PVD设备、蚀刻、清洗等工艺中的工艺气体（如N₂, Ar, O₂）精确配比与控制。

光伏产业：电池片生产过程中的扩散、刻蚀等关键工序气体流量控制。

生物医药：发酵罐、生物反应器中的氧气、空气等气体流量的精确供给与监控。

精细化工与实验室：高纯气体分析、小型反应装置、气相色谱仪载气控制等。

注意事项:

入口必须配过滤器，防止粉尘颗粒损坏毛细管传感元件。

严禁液体倒灌进入 MFC 内部。

需要预热 15‑30 分钟，保证测量精度。

MFC 不能反向供气；MFM 部分型号允许有限反向。

对比浮子流量计：THP‑MFC 需要供电；浮子面积式无源，只能人工手动调节。

日本进口TOFCO东富科气体用质量流量控制器THP系列：

质量流量控制器THP-CD型号：

质量流量计THP-MD型号：

控制单元THP-Z300型号：