TOFCO东富科药液纯水用叶轮式流量计FF-P
FF-P系列是一款为半导体等制造领域设计的高纯度、高可靠性的叶轮式微小流量计。它凭借全氟树脂的接液部件、蓝宝石轴承以及光电传感技术，为超纯水和化学药液提供了一个洁净、耐用且精确的微小流量测量解决方案。

TOFCO东富科药液纯水用叶轮式流量计FF-P

日本TOFCO东富科发展历程：

1. 1973 年：创业，定位流量测量仪器专业制造商。

2. 1974 年：株式会社东京流量计研究所正式注册成立，开启流量计研发制造。

3. 1998‑2001 年：增设鹿儿岛工厂，拓展臭氧、环境设备产品线；国内多地设立营业所，扩大日本本土业务。

4. 2000 年：取得ISO9001 质量体系认证。

5. 2002 年：启动全球化布局；设立上海海外事务所，布局中国市场。

6. 2004 年 1 月：推出综合品牌 TOFCO；2004‑09，公司正式更名为東フロコーポレーション株式会社（TOFLO CORPORATION）。

7. 2006 年：东富科精密仪器（苏州）有限公司成立，实现部分产品本地化生产组装。

8. 2007 年：流体集成配管单元 TOFPINE 上市，获得日本制造零部件大奖鼓励奖。

9. 2020 年：日本新东京事业所（八王子）建成，强化研发与测试能力。

TOFCO东富科FF-P系列是一款专为超纯水、药液等高纯度、低流量液体设计的叶轮式（涡轮式）流量计。它以结构简单、体积小巧著称，非常适合在半导体制造等对洁净度和空间有严苛要求的场合使用。

工作原理：通过光电传感器来测量PFA（全氟烷氧基）材质叶轮的转速，从而计算出流量。

主要特点：

高纯度与高耐腐蚀性：所有接液部件均采用PFA、PTFE（特氟龙） 等氟树脂材质，可有效防止金属离子析出，能抵抗各类化学药液的腐蚀。

高可靠性与长寿命：其转轴和轴承采用了蓝宝石（Sapphire） 材质，确保了长期运行的高耐磨性和稳定性。

小型极简设计：整体结构非常小巧、简单，便于在空间有限的设备中安装。

应用场景：

半导体制造：精确测量晶圆清洗、刻蚀等工艺中超纯水和各类化学药液（如SC-1, SC-2, 稀释HF等）的微小流量。

涂布与显影设备：用于监控光刻胶、显影液等化学品的精确供给。

高纯度化学品生产：适用于对流量测量有高洁净度要求的环节。

使用注意事项：

密封件兼容性：使用药液时，务必确认标准FKM（氟橡胶）O型圈与您的工艺流体是否兼容。如有需要，可选用全氟（Perfluoro）材质的密封件。

流体特性限制：

若流体有颜色，可能会妨碍光电传感器的光线透过，导致无法测量。

若流体中混入气泡，气泡可能附着在流量计内部，引起光的漫反射或增加叶轮旋转阻力，导致测量不稳定。

流量计校准：该流量计基于水进行标定。用于其他流体（尤其是粘度差异大的液体）时，可能需要进行重新校准。

TOFCO东富科药液纯水用叶轮式流量计FF-P型式：