TOFCO东富科药液纯水用面积式流量计FM-PF
FM-PF系列的高*型号，无论是标准化的 Excel type 还是高度灵活的 Custom type，都在全PFA材质和一体成型的可靠基础上，提供了更高水平的性能或定制化能力。

TOFCO东富科药液纯水用面积式流量计FM-PF

日本TOFCO东富科发展历程：

1. 1973 年：创业，定位流量测量仪器专业制造商。

2. 1974 年：株式会社东京流量计研究所正式注册成立，开启流量计研发制造。

3. 1998‑2001 年：增设鹿儿岛工厂，拓展臭氧、环境设备产品线；国内多地设立营业所，扩大日本本土业务。

4. 2000 年：取得ISO9001 质量体系认证。

5. 2002 年：启动全球化布局；设立上海海外事务所，布局中国市场。

6. 2004 年 1 月：推出综合品牌 TOFCO；2004‑09，公司正式更名为東フロコーポレーション株式会社（TOFLO CORPORATION）。

7. 2006 年：东富科精密仪器（苏州）有限公司成立，实现部分产品本地化生产组装。

8. 2007 年：流体集成配管单元 TOFPINE 上市，获得日本制造零部件大奖鼓励奖。

9. 2020 年：日本新东京事业所（八王子）建成，强化研发与测试能力。

TOFCO东富科FM‑PF 高*型为变面积（浮子 / 转子）流量计，接液采用PFA 一体熔接结构（W 熔接端盖）+ 全氟 PF 密封件，无 O‑Ring 密封缝隙，原生满足 SEMI‑F57 高纯规范，面向半导体超纯水、强酸强碱、双氧水、IPA 等高纯药液回路。

产品特点：

PFA 一体熔接 W 端盖 + 标配 PF 全氟密封，消除普通 O‑Ring 缝隙析出风险，专为半导体高纯药液设计，出厂直接满足 SEMI‑F57，不用额外选密封件。

透明 PFA 锥管，现场直接目视读取流量，正常工况本体不需要供电；可集成 PFA 针阀做手动流量调节。

可选光电报警开关，实现流量上下限报警；输出 OCT 晶体管信号对接 PLC。

浮子属于流路运动零件；杂质会造成浮子卡滞；大量气泡会造成读数漂移。

仅做流量监测；如需自动闭环控制流量，需要搭配 FCV‑C 调节阀。

必须垂直安装，流向自下而上；倾斜会产生读数偏差。

典型应用：

‑ 半导体湿法设备超纯水、蚀刻药液、清洗药液高纯度回路就地目视流量监测 

‑ 光伏、电子清洗高纯化学药液回路，对析出控制严格的工况 

‑ 旁路回路，不需要通讯数显，现场目视观察的高纯药液系统

使用注意事项：

必须垂直安装，流向自下而上，禁止卧式安装。

OCT 光电报警为晶体管输出，不能直接驱动大功率负载，需配中间继电器。

上游建议配置过滤器，大颗粒杂质会卡滞浮子、损伤 PFA 流路。

管路尽量减少气泡，气泡会劣化浮子稳定性与读数。

TOFCO东富科药液纯水用面积式流量计FM-PF型式：