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TOFCO东富科药液纯水用面积式流量计
产品简介:

TOFCO东富科药液纯水用面积式流量计FM-PF(定制型号)
FM-PF (Custom type) 是一款专为高腐蚀性、高纯度液体设计的高度定制化浮子式流量计。它结合了全PFA材质的耐腐蚀性、玻璃锥管的目视直读便利性,以及灵活的定制选项,使其能精准匹配半导体、化工等行业中各种严苛且特殊的应用需求。

产品型号:FM-PF(定制型号)

更新时间:2026-09-03

厂商性质:代理商

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产品介绍

TOFCO东富科药液纯水用面积式流量计FM-PF(定制型号)

TOFCO东富科药液纯水用面积式流量计

TOFCO东富科是一家拥有超过50年历史的日本流量计专业制造商。它的发展史,是一个从个人作坊起步,逐步成为全球流体控制领域头部的过程。

创业期(1973-2003年):1973年7月,创始人田畑吉胤在东京日野市创立了一家流量计制作所。次年,他成立了“株式会社东京流量计实验室",从此专注于流量测量技术。在接下来的三十年里,公司稳步发展,陆续建立了多个工厂和营业所,并获得了ISO9001认证。

品牌全球化(2004年至今):2002年,公司开始全球化布局。2004年是关键的一年:

创立品牌:1月,推出综合品牌 “TOFCO" ,其含义为 “Total Flow Consultant" (全面的流量顾问)。

公司更名:9月,公司正式更名为“東フロコーポレーション株式会社"(TOFLO CORPORATION)。

迈向新台阶:2017年,田畑隆一郎接任社长。2024年,为扩大事业新建了鹿儿岛事业所。如今,公司拥有约240名员工(截至2025年8月),年销售额目标为50亿日元。

公司的经营理念是“清晰至诚 不断创造 适应变化 共同成长 贡献社会"。其愿景是成为客户心中理想的“Total Flow Consultant",并积极拓展汽车、食品、医疗等新市场。


TOFCO东富科FM‑PF‑C 定制型号为变面积(浮子 / 转子)流量计。 接液 PFA 本体、PTFE 浮子、PCTFE 接头;可定制流量量程、接口形式、密封件、安装方式,适配半导体超纯水、强酸强碱、IPA、双氧水等高纯药液;本体无源目视刻度读数;可集成 PFA 针阀;可选磁簧 / 光电报警开关;仅流量监测,无自动调节阀,不能闭环控制流量;必须垂直安装,流体自下而上。

产品特点:

可定制化程度高:量程、接口、安装形式、密封等级均可按需定制,解决标准型号覆盖不到的特殊工况。

全氟树脂接液,无金属析出;耐强酸强碱有机溶剂;导电 / 非导电药液均可使用。

本体无源,现场目视读取流量;可选 PFA 手动针阀做手动流量调节;选配报警开关实现流量超限报警。

浮子属于流路运动零件;杂质会卡滞浮子;大量气泡会造成读数漂移。

仅流量监测;如需自动闭环控制流量,需要搭配 FCV‑C 调节阀。

硬性安装:垂直安装,流向自下而上,倾斜会产生读数偏差。

典型应用:

‑ 半导体湿法设备超纯水、高纯化学药液,标准量程无法满足的特殊流量回路 

‑ 需要面板嵌入式安装、特殊接口规格的高纯药液旁路监测 

‑ PCB、电子清洗工艺,对量程、安装结构有特殊要求的腐蚀性药液回路

使用注意事项:

必须垂直安装,流向自下而上,禁止卧式安装。

OCT 开路集电极输出,不可直接驱动大功率负载,需配中间继电器

上游建议配置过滤器,大颗粒杂质会卡滞浮子、损伤 PFA 流路。

管路尽量减少气泡,气泡劣化浮子稳定性与读数。

用于 SEMI‑F57 半导体制程,订货必须明确指定 PF 全氟密封 + W 熔接端盖。

定制范围:

Custom type 的“定制"主要体现在以下几个方面:

量程定制:可根据实际流量范围,在0.1~50 L/min的宽泛区间内定制最合适的量程。

接口定制:可根据现场管路,定制不同的接口规格和材质。

输出信号定制:可根据控制系统需求,选配干簧管或磁力开关,并指定其触点类型(A接点/B接点)。

其他定制:可根据特殊需求,与厂家沟通其他定制选项。

TOFCO东富科药液纯水用面积式流量计FM-PF(定制型号)型号:

TOFCO东富科药液纯水用面积式流量计

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