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产品型号:DUO-PF
更新时间:2026-09-03
厂商性质:代理商
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产品分类
TOFCO东富科药液纯水用面积式流量计DUO-PF

日本TOFCO东富科发展历程:
1. 1973 年:创业,定位流量测量仪器专业制造商。
2. 1974 年:株式会社东京流量计研究所正式注册成立,开启流量计研发制造。
3. 1998‑2001 年:增设鹿儿岛工厂,拓展臭氧、环境设备产品线;国内多地设立营业所,扩大日本本土业务。
4. 2000 年:取得ISO9001 质量体系认证。
5. 2002 年:启动全球化布局;设立上海海外事务所,布局中国市场。
6. 2004 年 1 月:推出综合品牌 TOFCO;2004‑09,公司正式更名为東フロコーポレーション株式会社(TOFLO CORPORATION)。
7. 2006 年:东富科精密仪器(苏州)有限公司成立,实现部分产品本地化生产组装。
8. 2007 年:流体集成配管单元 TOFPINE 上市,获得日本制造零部件大奖鼓励奖。
9. 2020 年:日本新东京事业所(八王子)建成,强化研发与测试能力。
TOFCO东富科DUO-PF 是一款全PFA材质、带模拟信号输出的面积式流量计(浮子流量计)。它属于“Duo flow"系列,核心优势在于既能现场目视直读,又能同时输出连续的模拟信号,是FM-PF系列中功能更全面的升级型号。
核心特点:
全PFA/PTFE材质,具有优秀的耐腐蚀性:所有接液部件均采用PFA(主体)和PTFE(浮子)等氟树脂,可有效防止金属离子析出,能抵抗各类强酸、强碱及高纯化学药液的腐蚀。
目视直读 + 模拟信号输出:既可通过透明锥管和浮子位置现场目视读取流量,也可同时输出4-20mA、1-5V、1-10V等标准模拟信号,方便与PLC等控制系统集成。
光电检测,高分辨率输出:内置20组红外IR与光电晶体管,通过检测浮子移动时产生的“阴影"变化,实现约152级分辨率的模拟信号输出。
可选针阀,便于流量调节:可选配PFA材质的针阀(Needle Valve),用于现场手动微调流量。
紧凑设计,节省空间:采用帽盖焊接(Cap welded) 规格时,面间长度仅为110mm。
应用场景:
半导体制造:精确测量晶圆清洗、刻蚀等工艺中的超纯水和各类化学药液(如SC-1, SC-2, 稀释HF等)的流量。
化工与制药:用于强腐蚀性化学试剂、药液等的流量指示与监测。
需要远程监控的场合:当需要将流量信号接入PLC、数显表、记录仪等设备进行远程监控或数据采集时,DUO-PF的模拟输出功能使其成为理想选择。
使用注意事项:
流体兼容性:尽管材质为PFA/PTFE,但对于强渗透性的特殊药液,使用前仍需与厂家确认兼容性。
流体洁净度:流体中若含有固体颗粒,可能影响浮子动作,建议在前端安装过滤器。
安装方向:必须确保流体从下向上流过流量计。
压力与温度:严禁超过额定的压力 (0.5MPa) 和温度 (60℃)。
精度说明:模拟输出信号与流量成比例,但精度保证仅在测量范围内。
TOFCO东富科药液纯水用面积式流量计DUO-PF型号:


