TOFCO东富科水流式溶解臭氧分解装置ULVIT
TOFCO（东富科）ULVIT 是一款水流式溶解臭氧分解装置，核心作用是利用高输出紫外线（UV）灯，将流体中的溶解臭氧（O₃）直接分解为氧气，从而得到清洁无臭氧的水。

TOFCO东富科水流式溶解臭氧分解装置ULVIT

TOFCO东富科是一家拥有超过50年历史的日本流量计专业制造商。它的发展史，是一个从个人作坊起步，逐步成为全球流体控制领域头部的过程。

创业期（1973-2003年）：1973年7月，创始人田畑吉胤在东京日野市创立了一家流量计制作所。次年，他成立了“株式会社东京流量计实验室"，从此专注于流量测量技术。在接下来的三十年里，公司稳步发展，陆续建立了多个工厂和营业所，并获得了ISO9001认证。

品牌全球化（2004年至今）：2002年，公司开始全球化布局。2004年是关键的一年：

创立品牌：1月，推出综合品牌 “TOFCO" ，其含义为 “Total Flow Consultant" （全面的流量顾问）。

公司更名：9月，公司正式更名为“東フロコーポレーション株式会社"（TOFLO CORPORATION）。

迈向新台阶：2017年，田畑隆一郎接任社长。2024年，为扩大事业新建了鹿儿岛事业所。如今，公司拥有约240名员工（截至2025年8月），年销售额目标为50亿日元。

公司的经营理念是“清晰至诚 不断创造 适应变化 共同成长 贡献社会"。其愿景是成为客户心中理想的“Total Flow Consultant"，并积极拓展汽车、食品、医疗等新市场。

ULVIT 是 TOFCO 东富科环境机器系列通水型溶解臭氧分解装置。采用 253.7nm 大功率低压汞 UV 紫外灯管，直接分解水体内部溶解臭氧；区别活性炭吸附、鼓泡分解方式，无副产物，适配超纯水循环回用；分为 M 型、L 型，还提供氢*酸臭氧水耐化学版本，多用于半导体湿法工艺臭氧水后端处理，消除水体残余臭氧，保护下游设备与管路。

※L型的部分产品是符合出口贸易管理令的货物，因此需要按照法令办理出口手续。

主要特点：

UV 紫外直接分解溶解臭氧，不使用活性炭，无吸附耗材更换，无二次溶出物，适合超纯水循环系统。

机型分 M（中小流量）、L（大流量）；支持普通臭氧水、氢*酸臭氧水特殊工况，接液部耐药液腐蚀。

石英套管保护 UV 灯管，洁净结构，不锈钢 SUS 整机壳体，整机占地小，对比活性炭设备节省空间。

集成多重报警输出：灯管异常、漏水、舱门异常、灯管寿命到期，可接入 PLC 做设备联锁。

连续通水运行，24 小时可连续工作，用于臭氧清洗工艺后端去除水中残留臭氧。

主要应用场景：

ULVIT主要应用于对水质有要求的领域，特别是：

半导体与FPD（平板显示）制造：用于清洗工艺中，分解臭氧水发生器后端残留的溶解臭氧，确保进入下一环节的水质洁净。

纯水循环系统：在对纯水进行回收再利用时，通过ULVIT去除溶解臭氧，避免其对后续管路或工艺造成影响。

使用含氢*酸（HF）臭氧水的工艺：其耐腐蚀性设计使其能安全处理这类具腐蚀性的化学流体。

该装置可配备Lamp异常、漏水、门状态、Lamp超时等报警输出，便于系统监控与维护。

TOFCO东富科水流式溶解臭氧分解装置ULVIT：

流入装置内部分解塔的臭氧水在分解塔管内和保护管之间流动，利用保护管中的紫外线灯输出的臭氧分解波长，分解流体内的臭氧。

应用示例

规格