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SSD西西蒂耐熱型除電装置高周波式装置
产品简介:

SSD西西蒂耐熱型除電装置高周波式装置ZAPPII-LS离子平衡优异、长期漂移小HDC-AC 技术,洁净机型离子平衡可稳定到 ±3V~±10V,长时间连续运行正负离子不易偏移;不会出现残余电压击穿晶圆、裸芯片、薄氧化层,半导体核心痛点。普通 AC 离子棒随积灰很容易离子失衡,SSD 这项技术可大幅降低漂移。

产品型号:ZAPPII-LS

更新时间:2026-09-11

厂商性质:代理商

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产品介绍
  • SSD西西蒂耐熱型除電装置高周波式装置
    SSD西西蒂耐熱型除電装置高周波式装置ZAPPII-LS

  • 离子平衡优异、长期漂移小HDC-AC 技术,洁净机型离子平衡可稳定到 ±3V~±10V,长时间连续运行正负离子不易偏移;不会出现残余电压击穿晶圆、裸芯片、薄氧化层,半导体核心痛点。普通 AC 离子棒随积灰很容易离子失衡,SSD 这项技术可大幅降低漂移。

  • 放电针磨损低、维护周期更长间歇式放电机制,减少钨针 / 硅针电腐蚀,积灰更少,延长清洁、换针周期,洁净产线停机维护时间减少シシド静电...。

  • 低臭氧释放,满足洁净室环保要求,适合密闭腔体、烘烤、无尘车间。

  • 除电速度快:标准距离下中和时间约 0.2s,适配高速流水线。

产品线覆盖在线固定式离子棒、手持离子风枪、台式离子风机、耐高温型离子棒 HTB、静电电位测试仪,可以一站式配套:

  • 常温宽幅产线:CABX 系列离子棒

  • 高温腔体(最高 200℃):HTB 耐热离子棒(竞品同规格耐高温型号选择少)

  • 离线手动吹扫:AG-5/AG-6 手持风枪;AGZⅢ/AGZⅣ 内置压电变压器,无需粗高压电缆,自动化工位更安全

  • 小型工位:BF-X 系列 DC24V 薄型离子风机

同时自产静电测试仪(DZ4/DP 等),可现场直接验证除电效果,实现 “除电设备 + 静电检测" 一套方案

产品线覆盖在线固定式离子棒、手持离子风枪、台式离子风机、耐高温型离子棒 HTB、静电电位测试仪,可以一站式配套:

  • 常温宽幅产线:CABX 系列离子棒

  • 高温腔体(最高 200℃):HTB 耐热离子棒(竞品同规格耐高温型号选择少)

  • 离线手动吹扫:AG-5/AG-6 手持风枪;AGZⅢ/AGZⅣ 内置压电变压器,无需粗高压电缆,自动化工位更安全

  • 小型工位:BF-X 系列 DC24V 薄型离子风机

同时自产静电测试仪(DZ4/DP 等),可现场直接验证除电效果,实现 “除电设备 + 静电检测" 一套方案。
SSD西西蒂耐熱型除電装置高周波式装置ZAPPII-LS

三、洁净室适配能力强

  1. 放电针可选钨针、硅针、玻璃针低发尘电极,满足 Class1/10 洁净环境,不会产生金属微粒污染晶圆;

  2. 材质选用 SUS、PTFE 等低析出材料;

  3. 多种安装形态:细长棒型、薄型风机、紧凑型风枪,适配机台狭小腔体、晶圆传送轨道、炉出入口等受限空间;

  4. HTB 耐高温离子棒是特色:可直接放入 200℃高温烘烤腔内部,普通离子棒只能常温使用,这是很多热处理工序客户优先选 SSD 的原因。

四、安全性与产线集成优势

  1. 主流机型采用DC24V 低压供电,设备端无外露高压,布线简单、安全,可直接接入半导体设备 PLC;

  2. 机型自带异常监测、故障报警、信号输出,可接入产线 MES,设备异常时自动停机 / 报警,避免批量产品 ESD 不良;

  3. 模块化设计,拆装放电针无需工具,维护简单,机台工程师可自行更换备件。

五、行业沉淀与配套服务

  1. 深耕半导体、FPD、光学、精密电子数十年,大量日系设备原厂(晶圆传送、烘烤、键合机)出厂标配 SSD 离子装置;

  2. 可支持特注定制:非标长度离子棒、特殊安装法兰、特殊线缆长度、腔体专用改造;

  3. 配套静电评估服务:可协助客户做现场带电电位测试、除电方案评估,不是单纯卖硬件。

  • SSD西西蒂耐熱型除電装置高周波式装置

  • SSD西西蒂ZAPPII-LS高周波式除電装置

  • 低流量专用高频离子风嘴;电极前端内置压电变压器,风管与电缆一体化,适合设备狭小空间内置安装;近距离除电、极低离子平衡,广泛用于半导体、光学膜、FPC、涂布、精密组装工位。
  • 区分:ZappⅡ-LS ≠ ZappⅡ-L;LS 为新一代低流量优化型号。
  • 品牌:シシド静電気株式会社 SHISHIDO SSD(日本西西蒂静电)

  • 系列名称:PIEZONIZER 压电高频交流离子发生器

  • 型式:喷嘴型高周波 AC 除静电风嘴

  • ZappⅡ-LS:低流量、近距离、±5V 平衡,精密光学

  • ZappⅡ-L:通用款,气压区间偏小

  • ZappⅡ:老标准型,逐步被 LS 替代

  • ZappⅢ:大流量长距离机型


    • 低流量优化

      相比旧款 ZappⅡ,小风量下除电速度更快,节省压缩空气;


    • 超低离子平衡 ±5V

      对感光材料、晶圆、光学薄膜等高敏感物料友好;


    • 前端内置压电变压器

      高压产生点靠近出风口,消除长高压线缆干扰;风管信号线一体化,设备布线整洁;


    • 近距离安全使用

      低压驱动架构,近距离不会造成元器件击穿、反向带电;

    • 维护便捷

      喷嘴可拆卸,方便清洁放电针;

    • 电磁干扰低,适合搭配 CCD 视觉、UV 固化、精密检测工位。
      SSD西西蒂耐熱型除電装置高周波式装置



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