日本进口Pillar皮拉多管式热交换器HEMTM
HEMTM（PILAFLON™系列多管式 U 型氟树脂热交换器），属于半导体湿法设备专用 PFA 管壳式换热器。结构为多根 PFA 细管束组成 U 型换热芯，工艺药液走 PFA 管内，冷却水 / 热水在壳程流动，通过管壁实现冷热介质换热；接口采用皮拉 SUPER300 入珠式接头，可直接与 SUPER300 管路系统对接，用于高纯化学。

日本进口Pillar皮拉多管式热交换器HEMTM

HEMTM 系列是日本 Pillar（皮拉）生产的氟树脂多管式热交换器，属于 PILAFLON™ 产品线。它的核心用途是在半导体制造设备等高洁净、强耐化学腐蚀的环境中，对液体进行加热、冷却或温度调节。

产品特点优势：

全氟树脂接液，高洁净强耐腐：换热管束、接液端全部采用 PFA 材质，无金属接触药液，低溶出、低颗粒析出；耐强酸、强碱、各类半导体光刻与清洗化学品，不会被药液腐蚀污染。

U 型多管结构，换热效率高：多根薄壁 PFA 管束大幅增加换热面积，逆流换热设计，总传热系数 300~750kJ/(m²・h・℃)；设备体积紧凑，占用设备内部空间小。

非粘附管壁，不易结垢：PFA 材料表面张力低，药液不易附着沉积，减少颗粒附着，降低清洗维护频次。

SUPER300 标准接口：自带皮拉 SUPER300 入珠式接头，和前面 P-SWE、MCT 等管件通用，装配方便，拧紧到位有声响提示，密封稳定可反复拆装。

双层隔离防串液：管程和壳程全部隔离，即使 PFA 管束破损，两种介质不会直接交叉污染，可保护工艺药液。

重量轻：对比金属 / 石墨换热器，整机轻量化，便于设备机架安装。

适用场景用途：

半导体晶圆清洗、刻蚀设备、FPD 面板湿法工艺、PCB 化学处理设备；用于高纯酸、碱化学药液的冷却、加热与恒温控制。

配套皮拉 SUPER300 高纯管路系统，和皮拉风囊泵、PFA 管件整套搭配使用。

规格型号参数：

产品系列：HEMTM（同系列 HEMTW 为另一种规格）

接液材质：PFA（换热管束、接头），壳体 PVC/PP

最高使用温度：160℃

最高工作压力：0.5MPaG

换热形式：U 形多管逆流换热

连接接口：PILLAR SUPER300 入珠式 PFA 接头

适用介质：各类液态高纯化学药液、超纯水；壳侧为温控冷却水 / 热水

产地：日本

常见型号举例：HEMTM-37-04A-PW4、HEMTM-37-10A-P12、HEMTM-91-15A-PW6

使用注意事项：

严禁超温、超压运行，超过 0.5MPa 容易造成 PFA 管束变形、破裂漏液。

升降温速率不可过快，冷热急剧交替会产生热应力，造成 PFA 管开裂。

壳侧介质建议使用去离子水，防止壳体内壁结垢，降低换热效率。

安装时管路减少外力拉扯，不要对换热器本体施加扭力，防止接头与 PFA 管束损伤。

定期检查有无渗漏；一旦管束破损，管内药液会进入壳侧，需停机更换换热芯。

仅用于液体介质换热，不可用于气体工况。

日本进口Pillar皮拉多管式热交换器HEMTM：