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产品型号:HEN-050-P10
更新时间:2026-09-14
厂商性质:代理商
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日本进口Pillar皮拉管套型热交换器HEN-050-P10

Pillar皮拉HEN 系列为管套型(套管式 / 盘管式)全氟树脂热交换器;HEN-050 代表有效换热面积0.05㎡;P10 代表配备 SUPER300 系列 φ10 规格入珠式接头。
结构为PFA 盘管内管走工艺药液,外部套管通入温控冷热介质,属于紧凑型套管式换热器,全部接液部位 PFA 材质,接头直接采用 SUPER300 入珠接口,可和前面 P-SWE、MCT 等皮拉高纯管路直接对接安装,多用于半导体湿法设备小流量药液恒温。和 HEMTM/HEMTW 多管壳式区分:HEN 是盘管套管结构,体积更小、换热面积偏小,适合小流量药液;HEMTM/HEMTW 是多管束壳式,换热面积更大,用于中大流量工况。
产品特点与优势:
全 PFA 接液,高洁净耐强腐蚀:盘管本体、接液接头均为 PFA,PTFE 密封件,无金属接触药液,低颗粒、低溶出;耐各类强酸、强碱、光刻配套化学品。
超紧凑盘管套管结构:体积小巧,可直接嵌入设备狭小空间,适合小流量药液回路的加热冷却。
SUPER300 入珠式标准接口,和皮拉整套管路系统通用,装配到位有 “咔哒" 提示音,密封可靠,可反复拆装维护。
双层隔离防串液结构:药液在 PFA 盘管内部,温控水在外层套管,一旦盘管破损,药液不会直接混入温控水路,保护工艺药液。
流道平滑没有死角,不易附着药液颗粒,降低颗粒滞留风险。
适用场景用途:
半导体晶圆清洗、刻蚀设备小流量化学药液循环管路,用于少量高纯酸、碱药液的加热、冷却、恒温控制;适合设备机架空间狭小、药液流量不大的工况。
典型配套:皮拉风囊泵 PB-12 供液回路、SUPER300 PFA 管件管路系统。
日本进口Pillar皮拉管套型热交换器HEN-050-P10:

