牛尾UV固化照射装置 数量1套 先到先得 美萨代理系列

UV固化照射装置（液晶面板制造用设备）

产品图片

适用于TFT-LCD液晶面板的贴合工艺，将液晶面板贴合所用的Seal材料，通过UV紫外线的照射在较短时间内进行固化，从而起到了提高生产效率，降低生产成本的效果。

特征

主要用途

高均一性照射

由于基板问题变化而产生的变色减少。

省略了周边四角的曝光

Tack时间短

利用光学Filter对光的控制技术，

受损情况小，低温处理

Mask对位机能

能够和Pattern进行精度较高的对位，

有效的曝光技术进行展开。

系统构成

设备本体

电源，控制面板

循环冷却Unit（Lamp冷却用）

Mask Work冷却用冷气机  

ODF设备（UV Curing）的构造

照射部

Stage部

牛尾电机株式会社(总部:日本东京，社长：朝日崇文，以下简称Ushio)宣布，将从2026年Q1开始接受面向大晶圆的UX-4系列全场投影光刻机的新产品“UX-45114SC"的订单，该产品实现了应对φ6/φ8英寸的同时，分辨率可达到L/S=2.8μm的高套准精度。

“UX-45114SC"是UX-4系列的新机型，UX-4系列光刻机多年以来一直服务于功率半导体、MEMS传感器、通信及光电融合相关 (光半导体)等领域，致力于提升元器件的生产效率，并拥有大量的导入实绩。

近年来，随着这些元器件的高性能化要求发展，需要不断推进线路的细小化。另外，为了提高芯片的生产效率，也产生了晶圆的大口径化目标，φ6/φ8英寸化也在不断推进。为满足这些需求，Ushio依托自创业以来培育的光学设计技术，采用与以往不同的特殊光学显微镜，成功研发出了支持φ6/φ8英寸、分辨率L/S=2.8μm的高套准精度产品UX-45114SC。

因此，对于物联网、5G、移动发展等下一代电子元器件晶圆大型化和高精度化叠层要求，在保持高产速的同时提高分辨率和套准精度，可实现和传统产品同等甚至以上的生产效率和高成品率。

Ushio今后也将作为面向大晶圆全场投影光刻机的企业，用“光"为实现便利和舒适的社会贡献力量。

本产品将在12月17日~19日于东京BigSight国际会展中心举行的“SEMICON Japan 2025 (展位号：E4522)"上进行展板展示。

■主要特点

·全场投影光刻：减少掩模损伤，高生产率120WPH

·深焦深：对3D形状表面进行，厚膜光刻胶光刻

·支持自动化：in line、on line、支持OHT和AGV

·分辨率：L/S=2.8μm

·提高套准精度

·无水银、LED光源

■外观照片