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JAPAN株式会社TORAY东丽浓度计的精度如何?
更新时间：2026-06-25
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TORAY 东丽浓度计全系列精度明细
东丽浓度计分氧化锆氧气浓度计（气体）、近红外液体浓度计、TOC 总有机碳分析仪三大类，精度按型号、量程分级，半导体、热处理、药液产线通用。
一、氧化锆氧浓度计（主流 LC/LD/MS 系列，工业）
1. LD-600 / LD-450（真空分体款，半导体 PVD/CVD）
重复性（核心精度指标）
量程≥1% O₂：±0.5%FS（全系东丽最高精度）
量程＜1%（ppm 区间）：±1.0% FS 或 ±0.1ppm，取数值更大者
24 小时空气零点稳定性：≤±1% FS，长期漂移极小
适用：真空腔体 ppb 级微量氧监控，镀膜、退火产线
2. LC-450（通用台式 / 面板型，回流焊、制氮、包装残氧）
≥10ppm 量程：重复性 ±1%FS
10ppm～1% 低量程：重复性 ±2%FS
T90 响应≤30s，常规工业场景精度足够，性价比高
3. LC-750L（微量低氧，高纯氮气、手套箱）
0~1000ppm 区间：±2% FS
≥1% VOL 中高氧（LC-750H）：±3% FS
备注：10ppm 以下超微量区间仅作参考，无原厂精度质保
4. MS-500（8 通道多点监测系统）
单通道传感器精度同 LD-600，整机多点一致性 ±0.8% FS 以内
氧仪统一补充说明
行业常说精度 = 重复性，东丽原厂手册只标注重复性，线性误差基本与重复性持平；
分辨率：ppm 档 0.01ppm，百分比档 0.01%；
校准周期正常工况 12 个月，洁净真空环境可延长至 18 个月。
二、近红外液体在线浓度计（LC-750L 液体款，半导体 IPA/NMP/ 酸碱药液）
测量原理：近红外吸光法，流通池非接触式
测量精度：±1% FS（典型）
重复性：±0.5% FS，自带自动温度补偿消除液温误差
线性误差：≤±0.8% FS
响应速度：≤2s，24h 连续在线配液监控
适用：晶圆清洗、涂布药液浓度闭环控制，日系工厂标准管控设备
三、TOC 总有机碳分析仪（水质微量有机物）
TOC-780L（超高灵敏度，超纯水）
线性误差：≤±2% FS 或 ±0.05mgC/L，取更大值
检出限：＜0.02mgC/L
TOC-250L（实验室常规款）
线性：≤±2% FS，检出限 0.05mgC/L
长期稳定性强：全系 24h 零点漂移≤±1% FS，不用频繁校准；
温度自动补偿：气体 / 液体机型均内置温补，环境波动不影响测量精度；
真空分体 LD 系列精度梯队，对标堀场、富士，优于国产普通氧分析仪；
液体近红外无耗材、无取样稀释误差，在线连续测量重复性稳定。
