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日本 KOFLOC 科赋乐（小岛制作所）流量控制器简介3200-1/4F9-N2
更新时间：2026-07-08
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测量原理：变面积锥形管 + 浮子浮力平衡，无需供电，自带一体式精密微调针阀，现场直观读取流量，手动调节流量大小。
测量原理：热扩散传感，直接测量气体质量流量，不受温度压力波动影响，内置电磁阀闭环自动稳定流量，可对接 PLC 自动化产线。
核心系列区分
1）3200 系列（标准半导体款，替代老款 3910）
符合 SEMI 半导体标准 Dsub9 接口，隔膜阀低死体积、常闭安全阀门；
量程：10sccm~10SLM，响应＜1s，精度 ±1% FS；
适用：晶圆扩散、氧化、等离子清洗、旋涂机工艺配比氮气 / 氧气 / 氩气。
2）ST-500/ST-550 数字 MFC
带本地数显屏幕，支持 RS485 Modbus、0-5V/4-20mA 双信号；
ST550 全金属密封，极低氦泄漏率，适配高真空、强腐蚀特种气体（硅烷、氯气）。
3）EX-550 防爆 MFC
IECEx 本安防爆认证，适配 IPA、光刻胶等易燃易爆气体环境，旋涂、湿制程防爆气路专用。
输出通讯：模拟 0-5V/4-20mA、RS485 数字通讯，支持电脑软件修改量程、切换气体种类（N₂/Ar/O₂/H₂/He 通用转换）。
量程与精度
超微量：0.5mL/min 起，最大 200L/min；常规精度 ±2% FS，高精密金属管款可达 ±1% FS。
KOFLOC 中文名称科赋乐，1949 年日本京都小岛制作所创立，专精微量气体 / 高纯液体精密流量测量与闭环控制，是半导体、面板、光伏、实验室微流控日系流量品牌，国内设有上海全资子公司「科赋乐精密仪器（上海）有限公司」，配套完整技术支持与现货分销体系。
品牌核心优势：覆盖浮子流量计、热式 MFC 质量流量控制器、PFA 液体涡街 / 超声波流量计、精密稳流阀四大产品线，全系列支持洁净耐腐蚀材质，适配你常接触的 MIKASA 旋涂、半导体湿制程、高纯气路配套工况。
（一）RK 系列 浮子转子流量计（无源可视，出货量最大）
优势：无源免电、体积小巧、内置调节阀、多材质可选（玻璃 / 不锈钢 / PFA），压损极低，设备内嵌安装便捷。
（二）ST/3200/EX 系列 热式 MFC 质量流量控制器
ST/3200/EX 系列 热式 MFC 质量流量控制器
（三）FML 系列 液体专用流量计（PFA 全防腐，半导体药液监测）
1. FML-300 卡门涡街液体流量计
接液全新型 PFA 无 O 型圈设计，IP65 防水；内置温度传感器自动补偿温漂，流量 + 温度双信号输出；
量程 2.5~250L/min，适配纯水、显影液、剥离液、光刻胶稀释液；
直管式超声波，无活动磨损部件，压损＜1kPa；PFA 接液不污染高纯药液；
微量液体 0.2~5L/min，适配微量药液输送、微流控芯片实验、钙钛矿涂布液计量。
（四）2203/2204 精密定流量稳流阀（无源稳压稳流，实验室配套）
- 无电子元件，依靠机械结构抵消入口 / 出口压力波动，气源不稳时流量恒定；
2203：补偿后端负载波动，适配泵后、反应釜微量载气；
2204：补偿前端气源压力波动，半导体设备减压阀后端稳压吹扫；
精度≤±1% FS，无旋转针杆，长期无漂移，色谱、旋涂腔体微量吹扫常用。
三、核心行业应用（匹配你主营半导体设备赛道）
：RK 腔体氮气吹扫、FML 液体流量计光刻胶 / 稀释液管路监测；
晶圆刻蚀 / 沉积：ST550/3200 MFC 精准控制 Ar/N₂/O₂工艺气体配比；
湿清洗设备：FML-300 PFA 涡街流量计监测酸碱药液循环流量。
半导体制造（最大应用领域）
面板 / 光伏
MiniLED、LCD 基板清洗硅片扩散防爆 EX 系列 MFC、涂布微量供气 RK 流量计。
科研实验室
气相色谱、微流控、钙钛矿实验微量气体 / 液体精密测控。
SMT 与精密电子
离子风机、点胶、喷涂设备氮气吹扫流量监测。
四、核心竞争优势（对标其他日系品牌）
微量流量专长：业内少见覆盖 0.5mL/min 超微小量程，适配旋涂、微流控微量工况；
全防腐洁净材质方案：316L 不锈钢、PFA 全系列可选，无橡胶析出，满足半导体高纯制程；
产品线完整：无源浮子、自动化 MFC、液体药液流量计、稳流阀一站式配齐，无需多品牌采购；
国内本地化服务：上海全资子公司提供图纸、规格书、校准、上门调试，长三角苏州半导体集群现货充足；
防爆体系：EX 防爆 MFC、防爆浮子流量计齐全，适配 IPA 等易燃药液设备配套。
代理销售各类工业品:，USHIO牛尾（点光源）CCS西西爱视，AITEC艾泰克（光箱、光源、圆形环形光），LEIMAC 雷马克、HOYA光源
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