半导体研发实验室日本大塚Otsuka粒径 + Zeta 电位 + 分子量

一、核心技术原理

1. 粒径检测：动态光散射 DLS

   660nm 高功率激光照射悬浮纳米颗粒，捕捉布朗运动散射光，算法换算流体力学粒径，测量范围0.1nm～10μm，覆盖胶体、纳米粉体、高分子乳液、CMP 抛光液。

2. Zeta 电位：电泳光散射激光多普勒法

   实测电渗流补偿，高盐环境、高浓度浆料也能精准测颗粒表面电荷，判断分散 / 团聚稳定性（半导体研磨液、光刻胶分散性核心指标）。

3. 分子量：静态光散射 SLS

   单次测试同步输出高分子、蛋白重均分子量，适配光刻胶树脂、高分子涂层研发。

二、全系列粒度仪型号分类（按应用场景）

1. ELSZ 系列（实验室全能旗舰，粒径 + Zeta 电位 + 分子量三合一）

（1）ELSZneo（全新顶配款，）

• 核心能力：多角度散射、微流变测试、凝胶网络分析、0~90℃宽温温控；3μL 超微量样品池，高盐溶液专用平板池大塚電子

• 测量范围：粒径 0.6nm～10μm；Zeta 电位 ±1000mV；浓度 0.00001%~40%（原液无需稀释直测）

• 适配客户：半导体研发实验室、CMP 浆料厂、光刻胶材料商、钙钛矿涂布液研发；可监测旋涂用光刻胶颗粒团聚风险

• 选配：pH 自动滴定模块，连续测不同酸碱环境下粒径 / 电位变化

（2）ELSZ-2000ZS（量产通用款，市场保有量最大）

• 完整三合一：粒径 + Zeta 电位 + 分子量，基础温控 0~60℃，标配 20μL 微量池、流通池可接在线管路

• 细分子型号：

• ELSZ-2000ZS：全功能（粒径 + 电位 + 分子量 + pH 滴定）

• ELSZ-2000Z：粒径 + Zeta 电位，无分子量模块，性价比款

• ELSZ-2000S：仅粒径 + 分子量，纯高分子研发用

• 优势：日系设备稳定性强，连续 72 小时量产质控无漂移，国内半导体厂实验室标配

2. DLS-6500 / DLS-8000 纯纳米粒度分析仪（仅测粒径，专项材料质控）

无 Zeta 电位功能，专注粒径分布，分低浓 / 高浓机型，适合产线快速来料检测：

• 高浓度原液直测能力行业

  最高兼容 40% 固含量浆料，多数竞品需稀释，稀释会破坏原始团聚状态，CMP 浓浆测试优势显著。

• 半导体洁净工况适配

  全套特氟龙 / 石英样品池无金属析出，配套防爆、无尘实验室选型方案，可对接旋涂、湿制程产线在线监测。

• 温控与微量样品优势

  仅需 3μL 样品，0~90℃宽温区间，适配光刻胶高温涂布、钙钛矿热敏药液测试。

• 本土化完整服务

  苏州全资子公司，现货样机、上门安装调试、原厂校准、中文操作软件、半导体行业专属工艺培训，长三角晶圆厂售后响应 24 小时内到场。

• 多参数一体化

  单台 ELSZ 系列同时完成粒径、Zeta 电位、分子量、pH 滴定联动测试，无需采购多台设备，节省实验室空间与预算。