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更新时间:2026-07-08
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创立:1954 年(日本东京),日系老牌流量 / 液位仪表龙头,日本量产金属转子流量计厂商
总部:东京港区芝公园,资本金 9930 万日元,本部员工 658 人(2025),日本横滨、冲绳设生产工场
主营定位:精密流量计 + 液位开关全品类研发制造,日本仪表行业头部品牌,半导体湿制程标配仪表品牌
1954 成立,起步转子流量计;
1981 与德国科隆 Krohne 技术合作,推出电磁流量计;
1983 自研热式质量流量计,1986 量产半导体 MFC 质量流量控制器,切入晶圆制程;
90 年代研发PFA 超声波流量系统、FB 系列浮球液位开关,成为日系半导体设备原厂配套标配;
2005 年起落地中国本土化布局,逐步建成产销研体系
FB-5000 侧装干簧浮球液位开关(304/316L/PTFE 防腐 / 防爆 EX,半导体药液罐标配)
FB6000 双点位液位、顶装浮球、连杆液位计,酸碱 / IPA 储槽通用
P 系列玻璃转子流量计 P810/P050:机台氮气吹扫、小流量药液目视计量,设备原厂标配
FC/CLFC/UCUF 超声波流量控制系统(FC6000、CLFC300):PFA 全氟,HF 强酸、显影液、CMP 浆料微量控流,抗气泡是核心卖点
HM 系列热式气体 MFC:HM6500/HM9700,腐蚀工艺气体 (HCl/HI)、第三代半导体 SiC 制程供气控制,对标 HORIBA、KOFLOC
金属转子、电磁、科里奥利质量流量计(TCM 系列,