日本SSD西西蒂离子风扇台式 BF-X 系列、长条 CABX 离子风棒介绍

一、自研 HDC-AC 高频电离核心，除静电效率、稳定性碾压普通交流风机

1. 离子平衡长期稳定 ±10V 以内

   行业顶尖残余电压控制，300mm 标准距离正负离子差值稳定≤10V，长时间连续运行漂移极小，不会出现普通风机越用偏压越大、击穿芯片的风险。

2. 除静电速度快

   10kV 高压工件降至 100V 仅需 0.2~1 秒，适配 MIKASA 旋涂、探针台、芯片摆盘高速自动化工位，避免静电吸附光刻胶颗粒、晶圆微尘缺陷。

3. 离子覆盖均匀

   标配广角 / 直通双风窗可互换：广角款柔和扩散气流，不会吹飞微型晶圆、0201 元件；直通款远距离集中除静电，一台覆盖多工位，不用多台风机叠加。

二、超低臭氧、洁净低析出，适配 Class100/1000 无尘半导体车间

1. 臭氧释放量＜0.04ppm

   远低于国标与 SEMI 半导体标准，旋涂机、光刻区域大量有机溶剂（IPA、光刻胶）环境无臭氧氧化污染，不会腐蚀感光涂层、损伤晶圆表面。

2. 低发尘放电针方案

• 标准款：钨合金 / 铍铜电极，磨损粉尘析出少，清洁周期比国产风机延长 3 倍；

• 晶圆超洁净款 CABX-UC：硅 / 玻璃放电针，无重金属脱落，12 寸 FAB、FOUP 清洗工位专用，杜绝颗粒污染良率下降。

3. 整机外壳防静电 ABS，自带前置可拆卸初效滤网，拦截空气中粉尘，防止电极积污影响电离效果，拆装清洗无需工具。

三、DC24V 内置一体化高压，设备内嵌集成安全便捷

1. 无外置高压盒

   风机机身内置压电式高压变压器，仅低压 DC24V 供电布线，不用单独走高压线缆，设备机柜、旋涂腔体内部内嵌安装布线简洁，降低漏电、打火安全隐患。

2. 整机低电压安全，触碰外壳无电击风险，适配防爆湿制程、有机溶剂车间。

四、全智能故障监测，支持 PLC 自动化联动（产线刚需）

1. 多重异常自检报警

   实时监测三类故障：高压失效、风机停转、电极积污超标，红绿 LED 指示灯直观提示，搭配无源 MOSFET 继电器信号输出，可对接设备 PLC、产线报警系统，异常自动停机，避免无离子工况批量报废晶圆 / 元器件。

2. 内置清洁计时提醒，记录电极使用时长，到保养周期自动亮灯，不用人工定期检测，降低运维漏检风险。

五、结构轻量化、可调安装，适配狭小设备腔体

1. 台式 BF-X 系列机身轻薄小巧（BF-X2ZB 仅 104×126×60mm，约 500g），旋涂机台面、探针台狭小空间均可壁挂 / 立式摆放。

2. 机身俯仰角度可锁死，设备震动不会偏移吹风方向；风窗、放电针徒手快拆更换，维护 5 分钟完成，不用整机拆卸。

3. 长条 CABX 风棒长度 300~1500mm 全覆盖，适配基板传送、涂布、薄膜分切整条流水线同步除静电。

六、防爆 / 防腐全系列细分，匹配半导体湿制程易燃易爆工况

1. 针对旋涂、显影、清洗机 IPA、稀释剂易燃环境，有低火花、低臭氧防爆型离子风机，无放电引燃溶剂风险。

2. 接液周边配套机型整机耐腐蚀涂层，耐受酸碱药液挥发腐蚀，长期在湿制程环境不易老化。