IMV爱睦威 SW‑72加速度传感器的资料

IMV SW‑72：三轴伺服力平衡式地震监测传感器本体，半导体工厂、FPD 设备、精密设备地基地震检测；地震发生输出继电器报警，联动设备急停、断电保护。

内置力平衡伺服加速度传感器（非压电），X/Y/Z 三轴同时采集，内部做矢量合成，全方向无指向性检测地震振动；低频性能优异，适合地震 0.3‑10Hz 频段，普通压电振动传感器做不到这么低的频率。

• SW‑72：基础款，只测加速度 (Gal)

• SW‑72R：高阶版，增加 SI 值（损伤指数 Kine）、震度计算

系统构成

1. SW‑72 / SW‑72R：现场地基上的探测本体；

2. SW‑74（显示控制器）选配件：接收 RS422 信号，人机界面、时间、事件记录，最多可存储 50 条地震事件记录；

3. 中继 BOX（选件）：电缆中转；

4. PC 维护软件：读取参数、导出事件数据。光刻机、膜厚仪（大塚）、台阶仪（小坂 KOSAKA）、离子风棒等精密设备地基地震监测；

5. 地震达到阈值，继电器接点输出，联动设备急停、关闭真空泵、关闭气体，防止设备 / 晶圆损坏；

6. 厂房地基地震事件留存追溯。

选型区分要点

• 只需要加速度报警做设备联锁 → SW‑72

• 需要评估地震破坏等级 SI 值、震度 → SW‑72R

安装关键点：SW‑72 必须锁在和被测设备同一地基基座；不能挂在设备壳体上，否则测不到真实地基地震输入。

如果你需要，我可以补充 SW‑72 和 SW‑201 的对比，或者接线要点。