KOSAKA 小坂研究所 ET 系列 接触式台阶仪介绍说明

KOSAKA 小坂研究所 ET 系列 接触式台阶仪（薄膜测厚仪） 金刚石探针压在样品表面，样品台水平扫描；薄膜台阶起伏带动探针垂直位移，LVDT 位移传感器采集 Z 向位移，计算台阶高度 = 薄膜厚度，同时输出粗糙度 Ra/Rz、轮廓曲线。
微細形状測定機，接触式金刚石探针，测量薄膜台阶高度（膜厚）、刻蚀深度、表面粗糙度、轮廓、薄膜内应力，半导体 / MEMS/FPD 行业主流设备，对标 Bruker Dektak、KLA 台阶仪。

金刚石探针压在样品表面，样品台水平扫描；薄膜台阶起伏带动探针垂直位移，LVDT 位移传感器采集 Z 向位移，计算台阶高度 = 薄膜厚度，同时输出粗糙度 Ra/Rz、轮廓曲线。

优势：不透明薄膜（金属、硅、光刻胶、介质膜）均可测；光学椭偏无法测的不透明膜层，台阶仪可以直接实测厚度。

二、主流型号与核心参数

1）ET‑200A 系列（实验室研发台式）

• ET‑200A：基础二维台阶 + 粗糙度

• ET‑200A‑D：电动 Y 轴

• ET‑200A‑3D：3D 形貌扫描
  
  

• 超微测量力 0.5μN：可以直接测量光刻胶、PI 聚酰亚胺等软质薄膜，不会压坏样品表面，这是小坂 ET 系列一大强项ryokosha.c...。

• 直动式检出器：探针垂直直线运动，消除传统杠杆式摆动带来的角度系统误差，纳米台阶测量更稳定。

• CCD 可视定位：肉眼屏幕直接看到探针针尖，对准台阶边缘。

• 软件 i‑STAR31 功能：台阶高度、膜厚、粗糙度、波纹度、沟槽轮廓、薄膜应力计算；支持宏程序自动批量测量；输出 ISO/JIS 参数；支持 CSV 导出数据。

• 探针耗材：金刚石触针；标配 R2μm；可选R0.5μm 针尖（微小图形），属于定期消耗件，需要更换。