KOSAKA台阶仪薄膜测厚仪 微细形状测定机ET4000系列

KOSAKA台阶仪薄膜测厚仪 微细形状测定机ET4000系列，微細形状測定機，接触式金刚石探针，测量薄膜台阶高度（膜厚）、刻蚀深度、表面粗糙度、轮廓、薄膜内应力，半导体 / MEMS/FPD 行业主流设备，对标 Bruker Dektak、KLA 台阶仪

1. 半导体：金属膜、氧化硅、氮化硅、光刻胶、RDL 再布线层、刻蚀深度；

2. MEMS：牺牲层厚度、结构层台阶；

3. FPD 显示：ITO 膜、钝化层；

4. 科研：镀层、涂层、柔性薄膜；

5. 防振台桌上型 / 落地型；

6. 超微力检出单元（实现 0.5μN，测光刻胶软膜）；

7. R0.5μm 小半径金刚石探针；

8. 台阶高度校准标准片（SS 系列标准样块，用于定期设备校验）；

9. 3D 扫描软件模块；

10. 晶圆真空吸盘；机械手自动上下料接口；
    
    

11. 超微测量力 0.5μN：可以直接测量光刻胶、PI 聚酰亚胺等软质薄膜，不会压坏样品表面，这是小坂 ET 系列一大强项ryokosha.c...。

12. 直动式检出器：探针垂直直线运动，消除传统杠杆式摆动带来的角度系统误差，纳米台阶测量更稳定。

13. CCD 可视定位：肉眼屏幕直接看到探针针尖，对准台阶边缘。

14. 软件 i‑STAR31 功能：台阶高度、膜厚、粗糙度、波纹度、沟槽轮廓、薄膜应力计算；支持宏程序自动批量测量；输出 ISO/JIS 参数；支持 CSV 导出数据。

15. 探针耗材：金刚石触针；标配 R2μm；可选R0.5μm 针尖（微小图形），属于定期消耗件，需要更换。

16. 打印机。