半导体：金属膜、氧化硅ET‑4000AKOSAKA小坂研究所台阶仪介绍

代理KOSAKA小坂研究所台阶仪微细形状测定机 代理KOSAKA小坂研究所台阶仪微细形状测定机 微細形状測定機，

接触式金刚石探针，测量薄膜台阶高度（膜厚）、刻蚀深度、表面粗糙度、轮廓、薄膜内应力，半导体 / MEMS/FPD 行业主流设备，对标 Bruker Dektak、KLA 台阶仪，
金刚石探针压在样品表面，样品台水平扫描；薄膜台阶起伏带动探针垂直位移，LVDT 位移传感器采集 Z 向位移，计算台阶高度 = 薄膜厚度，同时输出粗糙度 Ra/Rz、轮廓曲线
微細形状測定機，接触式金刚石探针，测量薄膜台阶高度（膜厚）、刻蚀深度、表面粗糙度、轮廓、薄膜内应力，半导体 / MEMS/FPD 行业主流设备，对标 Bruker Dektak、KLA 台阶仪

ET‑4000 系列（产线全自动机型）

• ET‑4000M：Y 轴手动，性价比量产款

• ET‑4000A：全自动 XYΘ 载台，自动多点 Mapping

• ET‑4000L：大尺寸 FPD 基板

• ET‑4300：专门针对12 英寸硅片晶圆量产
  
  

• 半导体：金属膜、氧化硅、氮化硅、光刻胶、RDL 再布线层、刻蚀深度；

• MEMS：牺牲层厚度、结构层台阶；

• FPD 显示：ITO 膜、钝化层；

• 科研：镀层、涂层、柔性薄膜；
  注意：台阶仪测膜厚需要样品上有台阶（刻出裸露基底），不能直接测整片无台阶样品。

• 超微测量力 0.5μN：可以直接测量光刻胶、PI 聚酰亚胺等软质薄膜，不会压坏样品表面，这是小坂 ET 系列一大强项ryokosha.c...。

• 直动式检出器：探针垂直直线运动，消除传统杠杆式摆动带来的角度系统误差，纳米台阶测量更稳定。

• CCD 可视定位：肉眼屏幕直接看到探针针尖，对准台阶边缘。

• 软件 i‑STAR31 功能：台阶高度、膜厚、粗糙度、波纹度、沟槽轮廓、薄膜应力计算；支持宏程序自动批量测量；输出 ISO/JIS 参数；支持 CSV 导出数据。

• 探针耗材：金刚石触针；标配 R2μm；可选R0.5μm 针尖（微小图形），属于定期消耗件，需要更换。