KOSAKA 真圆度仪 | 圆柱度测定机

型号：EC1550H

1. 超微测量力 0.5μN：可以直接测量光刻胶、PI 聚酰亚胺等软质薄膜，不会压坏样品表面，这是小坂 ET 系列一大强项ryokosha.c...。

2. 直动式检出器：探针垂直直线运动，消除传统杠杆式摆动带来的角度系统误差，纳米台阶测量更稳定。

3. CCD 可视定位：肉眼屏幕直接看到探针针尖，对准台阶边缘。

4. 软件 i‑STAR31 功能：台阶高度、膜厚、粗糙度、波纹度、沟槽轮廓、薄膜应力计算；支持宏程序自动批量测量；输出 ISO/JIS 参数；支持 CSV 导出数据。

5. 探针耗材：金刚石触针；标配 R2μm；可选R0.5μm 针尖（微小图形），属于定期消耗件，需要更换。