日本TOKISANGYO东机产业粘度计的TR‑100E‑PC简介

在线插入式，安装在光刻胶供液管路、涂布前端，产线实时连续监测粘度

精度 ±1.5%；可输出 4‑20mA，对接设备 PLC，用于旋涂 / 狭缝涂布工艺闭环监控

应用：光刻胶生产线、涂布机进料监控，防止批次粘度漂移导致涂布不良
日本TOKISANGYO东机产业粘度计的TR‑100E‑PC简介

光刻胶优先锥板（Cone‑Plate）：样品极少，减少昂贵样品消耗；普通 B 型杯式粘度计样品几十毫升，不适合光刻胶。

温度极其关键：光刻胶粘度对温度非常敏感，优先选 TR‑100E‑PC 内置帕尔贴，避免外接浴槽温度滞后。

接触部件：强溶剂体系，确认转子材质耐丙酮、PGMEA 等光刻胶溶剂。

数据输出：需要 PC 软件、CSV 导出，满足半导体 fab 数据追溯要求。

校准：使用东机 JS 系列标准粘度液定期校准。