KOSAKA小坂台阶仪凭借其技术和性能,成为微观表面测量领域的重要工具之一。无论是从精度还是功能性来看,它都是一款值得信赖的选择。
KOSAKA小坂台阶仪的主要优点:
1.高精度测量:采用金刚石探针接触测量方式,配合直动式传感器等设计,可实现Z方向分辨率达0.1nm的高精度表面形貌分析。
2.多功能性:能测量表面台阶形貌、粗糙度、波纹度、磨损度、薄膜应力等多种参数,还可进行二维/三维表面粗度解析。
3.灵活性强:配备各种型号探针,通过控制接触力和垂直范围,适应不同测量需求。根据不同应用场景,还可搭配全自动机械手臂,实现在线全自动测量。
4.用户友好:中文化软件界面直观易用,支持多种标准和规范,简化了操作流程。
KOSAKA小坂台阶仪的测定步骤及使用注意事项:
测定步骤
1.开机准备:连接设备电源,依次开启E-Box、显示器、主机。待Windows系统启动后,双击桌面专用软件图标(如Dektak6M),完成初始化后预热约15分钟,直至状态栏显示“Ready”。
2.样品加载:确认探针处于抬起状态(通过软件操作或手动提升至高度);打开密闭舱门,用镊子将样品轻放于载物台中央,手动调整位置使样品位于探针正下方;关闭舱门以避免测量过程中振动干扰。
3.参数设置与校准:根据样品特性选择探针压力(通常为微牛级)和扫描速度,部分型号支持恒力控制以保护软质材料。使用标准片(如SiO标样)进行感度系数校正和线性度验证,确保测量精度。
4.执行测量:在软件中设定扫描范围和分辨率,启动自动扫描程序。探针沿表面移动时,其垂直位移通过压电传感器转化为电信号,生成三维形貌图。
5.数据保存:测量完成后导出原始数据及分析报告,复工测量需对比历史数据以确认仪器稳定性。
使用注意事项
1.样品处理:被测表面需清洁无颗粒物,避免灰尘污染探针;样品平面度应在仪器量程内(Z轴600μm),且台阶高度不超过设备限制。
2.操作规范:测试时务必关闭舱门,防止外部振动影响结果;禁止触碰防震台或移动中的探针,避免人为干扰。
3.探针保护:选用合适曲率半径的金刚石探针(如2μm),并根据材料硬度调整施加力(10-500μN);软质样品建议采用闭环恒力模式。