KOSAKA小坂半导体工艺台阶仪 这家拥有深厚技术底蕴的日本专业厂商，自1950年创立以来，便致力于精密测定的研究与创新。

株式会社小坂研究所（KOSAKA），这家拥有深厚技术底蕴的日本专业厂商，自1950年创立以来，便致力于精密测定的研究与创新。其中，KOSAKA ET150台阶仪是该公司的杰出代表，它基于Windows XP操作系统，为各类表面提供全面的形貌分析。无论是半导体硅片、太阳能硅片，还是薄膜磁头及磁盘、MEMS、光电子等，ET150都能应对自如，实现高精度的测量。其的金刚石（钻石）探针接触测量方式，使得表面形貌分析变得简单而可靠。此外，ET150还具备多种功能，如测量表面台阶形貌、粗糙度、波纹度、磨损度以及薄膜应力等。

该仪器配备了不同型号的探针，并提供了程序控制接触力和垂直范围的探头。其彩色CCD原位采集设计使得探针工作状态一目了然，大大提高了测试区域的定位准确性。同时，ET150还具备二次元表面解析功能，可轻松测量段差，且具有高精度、高分辨率以及出色的再现性。此外，其FPD面板显示使得微细表面形状、段差、粗度等的测定变得简单易懂。更值得一提的是，其低测定力设计使得软质材料的测定也成为可能。

纵轴可达到的最高分辨率为0.1纳米，而横轴的最高分辨率则可达到0.1微米，这使得KOSAKA ET150台阶仪能够精确地测定微细形状。

其测定力范围可灵活设定，从10至500微牛顿，或1至50毫克力，适应不同材料的测量需求。该台阶仪特别适用于软质材料的表面测量，例如COLOR FILTER、SPACER以及PI等。