日本进口TOFCO东富科质量流量计
是一类基于热式测量原理的高精度流量监测设备，专为半导体、新能源、精密化工等对气体流量控制要求严苛的工业场景设计，能够实现对质量流量的直接测量与稳定输出。

日本进口TOFCO东富科质量流量计

 是一类基于热式测量原理的高精度流量监测设备，专为半导体、新能源、精密化工等对气体流量控制要求严苛的工业场景设计，能够实现对质量流量的直接测量与稳定输出。

该系列流量计采用‌热式质量流量测量技术‌（Thermal Mass Flow），通过检测流体带走的热量与流速之间的关系，直接输出质量流量（单位：g/min 或 SLPM），不受介质温度、压力变化影响，无需额外进行温压补偿，测量结果更精准、响应更快速。

核心特性：

‌测量原理‌：基于‌恒温差式热式传感技术‌，利用加热元件与温度传感器间的温差变化反映质量流量

‌精度表现‌：基本误差≤ ‌±1.0% FS‌，重复性可达 ‌±0.2% FS‌，满足高要求的过程监控

‌响应速度‌：典型响应时间≤ ‌2秒‌，适用于动态工况监测

‌材质配置‌：

测量管路：‌SUS316L不锈钢‌，耐腐蚀、符合高洁净标准

密封件：‌FKM氟橡胶（FPM）‌，可耐受多数工业气体及有机溶剂

‌工作参数‌：

流量范围：覆盖 ‌0.1～1500 SLPM‌（视具体型号而定）

工作温度：‌5～80℃‌（精度保证区间：15～50℃）

接口标准：支持 ‌1/8"、1/4"、3/8" LOK/VCR‌ 等多种洁净管道连接方式

‌输出信号‌：

标配 ‌4-20mA 模拟输出‌，可接入PLC/DCS系统实现远程监控

可选 ‌RS485 Modbus 通讯接口‌，便于数据采集与系统集成

部分型号配备‌现场LCD数字显示模块‌，支持瞬时流量与累计流量双显

典型应用场景：

半导体制造中工艺气体（如氮气、氩气、氢气）的精确流量监测

氢燃料电池系统中氢气供给的实时流量读取

光伏与显示面板产线中特种气体输送系统的状态监控

实验室微流控装置或反应系统中的小流量气体测量

日本进口TOFCO东富科质量流量计

THP-MD  Series

·由数字控制电路构成，具有应答性及精确度，是适合精确测量流量必要工序的产品。

·RS-458通讯(选择)。

·可搭载实时处理及计算机能(选择)。

·快速响应，高精确度。

·无需温度与压力的辅正、能准确测定气体的流量。

·易于安装与维护。

构造图：

配线图：