日本进口 TOFCO东富科控制单元流量计
日本进口TOFCO东富科控制单元流量计THP-Z300‌ 是一款专为气体流量精确控制设计的‌质量流量控制器（MFC）‌，属于TOFCO东富科THP系列产品线，广泛应用于半导体制造、新能源电池、实验室分析及精密化工等对气体控制要求高的工业场景。

日本进口 TOFCO东富科控制单元流量计

日本进口TOFCO东富科控制单元流量计THP-Z300‌ 是一款专为气体流量精确控制设计的‌质量流量控制器（MFC）‌，属于TOFCO东富科THP系列产品线，广泛应用于半导体制造、新能源电池、实验室分析及精密化工等对气体控制要求高的工业场景。

该设备基于‌热式质量流量测量原理‌，可直接测量并控制气体的质量流量，无需受温度、压力变化影响，具备高精度、高稳定性和快速响应的特点。

核心特性：

‌测量原理‌：采用‌恒温差式热传感技术‌，通过检测气体带走热量的变化来精确测定质量流量

‌控制精度‌：基本误差≤ ‌±1.0% FS‌，重复性达 ‌±0.2% FS‌，确保长期运行的稳定性

‌响应速度‌：典型响应时间≤ ‌2秒‌，适用于动态调节与闭环控制

‌流量范围‌：覆盖 ‌0.1～25 m³/h（约417 SLPM）‌，具体可根据气体类型和工况调整

‌适用气体‌：支持‌空气、氮气、氧气、氢气、氩气‌等多种常见工业气体，部分型号可定制用于腐蚀性或特殊气体

‌材质配置‌：

流通路径：‌SUS316L不锈钢‌，耐腐蚀、低析出，符合高洁净环境标准

密封材料：‌FKM氟橡胶（FPM）‌，兼容多数化学气体

‌接口与连接‌：

电气接口：标准 ‌DIN 43650A 插头‌，支持外部模拟信号控制

气路接口：提供 ‌1/4" VCR 或 NPT‌ 等多种连接方式，便于系统集成

‌控制与输出‌：

输入信号：‌0～5V / 0～10V / 4～20mA‌ 可选，用于设定目标流量

输出信号：‌4～20mA 模拟反馈‌，实时输出实际流量值

可选配 ‌RS485 Modbus 通讯协议‌，支持远程监控与数据采集

‌显示功能‌：部分型号配备‌现场数显模块‌，可直观查看设定值与实际流量，提升操作便捷性

日本进口 TOFCO东富科控制单元流量计

·独立的电路功能结构，提高了使用者的便利性

·使用16位AD转换器，提高了输入输出信号的清晰度

·与输入信号范围结合，可以自动调整现实的清晰度

·菜单的简单化，使用起来更加方便

·AD转换器含有自动校准功能

软件：

·通过通道间电源独立，来防止通道之间的干涉及准确的信号输出

·安装高分辨率的A/D,D/A转换器，来实现高精度和直线型。

·实时流量监控及控制。