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产品型号：L12542
更新时间：2026-07-09
厂商性质：代理商
访问量：8
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产品分类
HAMAMATSU 滨松光子，全称滨松光子学株式会社（Hamamatsu Photonics K.K.），日本全球顶尖光子科技企业，1953 年创立，总部静冈县滨松市，是光电子、射线检测、激光设备领域龙头厂商，核心产品线，光电倍增管 PMT，光半导体器件，X 射线 / 射线发生装置（你图中设备所属品类），激光器与光学仪器，整机检测设备。
L12542 是大面积辐照型号，具有宽指向性（光分布）以及高稳定性和长寿命。
在我们的真空静电消除器产品系列中，L12542 具有高通用性，并且在广泛领域中具有良好的使用记录。L12542 可有效快速消除大型物体或多个物体上的静电电荷。
详细参数;
*1：寿命终止定义为 230 nm 的光输出低于其初始值的 50%，或光输出波动超过最大规格值。
请注意，光输出衰减在很大程度上取决于真空设备的状况。
*2：L12542 可以与下列相关产品的真空法兰一起使用。
有关如何将真空静电消除器安装到真空设备上的信息，请联系我们。
*3：使用氦气泄漏探测器测量的结果。
特性
中和性能（典型值）
安装示例：
外形尺寸图：
电源单元（重量：约 1.8 kg）
L12542 光源头（氘灯照射单元）：真空法兰安装、发射 VUV 深紫外
配套专用电源控制器：供电、点灯、外部信号控制、状态反馈
超大广角照射，除静电面积是普通 VUV 光源 9 倍
发光配光角度为传统机型 3 倍，单台即可覆盖大尺寸晶圆 / 基板，无需多台并联，降低设备成本。
真空环境专用，无需压缩空气
真空腔（10⁻²Pa 级别）内直接电离，无气流干扰，不会吹走晶圆微颗粒。
无过冲、无反向静电
光离子化均衡产生正负离子，不会出现传统离子风机正负电荷打过头的问题，保护超薄膜、OLED、光刻胶。
无粉尘、无电磁干扰
无电极放电、无针尖溅射粉尘，不污染真空腔体，无射频 EMI 干扰精密检测设备。
高光稳定性、长寿命
光输出波动极小，保证除静电效果长期一致。
内置光源：真空紫外氘灯
发射光谱：115 nm ~ 400 nm（MgF₂氟化镁窗口，透过深紫外真空紫外波段）
窗口材质：MgF₂晶体（耐真空紫外，无深紫外截止）
预热点灯时间：25±5 s（灯丝预热后才输出 VUV 光）
光输出波动（峰峰值）：≤0.05%
保证寿命：2000 h（光强衰减至初始 50% 判定寿命终点；连续稳定使用可达 6000h 以上）滨松光子学...
电源输入：单相 100–240 V AC 50/60 Hz
整机最大功耗：90 VA
冷却方式：光源头自带散热风扇风冷
外部控制：电源后侧端子支持 TTL 启停、灯寿命计时信号、故障报警输出，可对接 PLC / 设备上位机
光源头外形：φ60 mm × 长度 160 mm，出光窗口直径 26 mm
光源头净重：约 530 g
配套电源控制器：200×117×80 mm，重量 1.8 kg
真空法兰选配：ICF114 / JIS VF50 标准真空法兰，可直接锁在真空腔体外部，光源不伸入腔体内，不占用真空内部空间原田产业株...
工作温度：10 ~ +40 ℃
存储温度：0 ~ +60 ℃
工作湿度：＜80% RH，无凝露
存储湿度：＜85% RH，无凝露
电源给氘灯灯丝预热 25s，内部高压触发点亮氘灯；
氘灯发射 115–400nm 真空紫外光，透过 MgF₂窗口射入真空腔体；
VUV 光子电离腔体内微量残留气体分子，生成等量正、负离子；
离子自由移动中和晶圆、基板表面静电，消除静电吸附、静电击穿风险。
