日本进口HAMAMATSU/滨松VUV-LED 光源单元
HAMAMATSU 滨松光子，全称滨松光子学株式会社（Hamamatsu Photonics K.K.），日本全球顶尖光子科技企业，1953 年创立，总部静冈县滨松市，是光电子、射线检测、激光设备领域龙头厂商，核心产品线，光电倍增管 PMT，光半导体器件，X 射线 / 射线发生装置（你图中设备所属品类），激光器与光学仪器，整机检测设备。

一、产品定位

1. L10706 光源头（柔性波纹管发光单元）：伸入真空腔、发射 VUV 紫外

2. 配套专用电源控制器：AC 供电、点灯、TTL 外部控制、故障报警输出

二、核心结构与硬件优势

1. 可弯折不锈钢柔性波纹管

   波纹管总长 700mm，可任意弯曲走位，适配复杂腔体内部布局；末端小型出光头，可贴近工件近距离照射，实现定点精准除静电。

2. 真空密封法兰

   标准 ICF70 真空法兰，氦检密封，无漏气，可长期工作在高真空环境；波纹管内部带独立气冷通道，配套高压空气冷却灯头。

3. 独立气冷散热结构

   区别 L12542 整机风扇散热，L10706 灯头采用20~30L/min 高压干燥压缩空气直冷，抑制氘灯高温，避免真空腔热量堆积、烘烤基板 / 光刻胶。

4. 窄光束定向照射

   光束发散角极小，能量集中，近距离除电速度快，不会大范围照射周边精密元器件。

三、完整规格参数

1. 光学性能

• 内置光源：S2D2 紧凑型真空紫外氘灯

• 光谱区间：115 nm ~ 400 nm（MgF₂氟化镁窗口，透过 115nm 深真空紫外，电离能力强）

• 预热点灯时间：25±5 s

• 光稳定性：峰峰值波动≤0.05%；每小时漂移 ±0.3% 以内

• 额定保证寿命：1000h（230nm 光强衰减至初始 50% 判定寿命终止）hamamatsu....

• 光束照射范围（典型）：

• 距离 100mm：光斑 φ40mm

• 距离 250mm：光斑 φ80mm

• 距离 500mm：光斑 φ145mm

2. 电气参数

• 电源输入：单相 AC 100~240V 50/60Hz

• 整机最大功耗：200 VA

• 外部控制接口：DB9 串口，支持 TTL 启停、点灯状态反馈、过热 / 灯故障报警，可对接 PLC 上位机

• 灯头冷却气源：干燥洁净压缩空气，流量 20~30 L/min

3. 尺寸、重量与真空规格

• 柔性波纹管总长：700 mm，法兰规格 ICF70

• 光源控制盒尺寸：122×84.5×51.2 mm，净重约 120g

• 整套光源头重量：约 420 g

• 适用真空度：1×10⁻⁴ Pa ~ 常压，真空越低电离除电效率越高

4. 使用环境

• 工作温度：10 ~ 35 ℃

• 存储温度：-10 ~ 60 ℃

• 工作湿度：＜80% RH 无凝露

• 存储湿度：＜85% RH 无凝露

四、工作原理

1. 电源预热氘灯灯丝 25s，内部高压触发点亮，输出 115–400nm 高能 VUV 真空紫外光；

2. 光线通过柔性波纹管末端 MgF₂窗口射入真空腔体；

3. 高能光子电离腔体内微量残留气体，生成等量正负离子；

4. 离子自由移动中和晶圆、基板表面静电，消除静电吸附、击穿风险。