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产品型号:L12542
更新时间:2026-07-18
厂商性质:代理商
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产品分类
HAMAMATSU 滨松光子,全称滨松光子学株式会社(Hamamatsu Photonics K.K.),日本全球顶尖光子科技企业,1953 年创立,总部静冈县滨松市,是光电子、射线检测、激光设备领域龙头厂商,核心产品线,光电倍增管 PMT,光半导体器件,X 射线 / 射线发生装置,激光器与光学仪器,整机检测设备。
L12542 是大面积辐照型号,具有宽指向性(光分布)以及高稳定性和长寿命。
在我们的真空静电消除器产品系列中,L12542 具有高通用性,并且在广泛领域中具有良好的使用记录。L12542 可有效快速消除大型物体或多个物体上的静电电荷。
详细参数:
| 参数 | 描述 | 单位 | ||
|---|---|---|---|---|
| 窗材 | MgF2 | - | ||
| 光谱分布 | 115 至 400 | nm | ||
| 预热时间 | 25 ±5 | s | ||
| 光输出稳定性 | 波动 (p-p) | 最大值 | 0.05 | % |
| 偏差 | 最大值 | ±0.3 | %/h | |
| 保证光源寿命 (*1) | 2000 | h | ||
| 替换光源 | L12565 | - | ||
| 真空法兰 | - (*2) | - | ||
| 密封方法 | O 型圈 | - | ||
| 泄漏量 | 1 x 10-10 Pa m3/s (*3) | - | ||
| 输入电压(交流) | 100 V 至 240 V,单相 50 Hz / 60 Hz | - | ||
| 功耗 | 最大值 | 90 | VA | |
| 光源单元冷却方法 | 以风扇强制风冷 | - | ||
| 工作温度范围 | +10 至 +40 | ℃ | ||
| 储存温度范围 | 0 至 +60 | ℃ | ||
| 工作湿度范围 | 低于 80%(无冷凝) | - | ||
| 储存湿度范围 | 低于 85%(无冷凝) | - | ||
| 外部控制 | 照射控制、照射信号、各种报错信号 | |||
*1:寿命终止定义为 230 nm 的光输出低于其初始值的 50%,或光输出波动超过最大规格值。
请注意,光输出衰减在很大程度上取决于真空设备的状况。
*2:L12542 可以与下列相关产品的真空法兰一起使用。
有关如何将真空静电消除器安装到真空设备上的信息,请联系我们。
*3:使用氦气泄漏探测器测量的结果。
特性:



外形尺寸图:
光源单元(重量:约 530 g)
电源单元(重量:约 1.8 kg)
超大广角辐照
照射角度是传统 VUV 光源 3 倍,有效除电面积提升约 9 倍,单台即可覆盖晶圆、玻璃大板,减少设备安装数量。
真空环境高效除静电
无需压缩空气,在高真空 / 减压环境稳定生成均衡正负离子,解决静电吸盘脱片、工件吸附粉尘问题。
洁净无污染
无电晕放电、无臭氧、无金属粉尘溅射,不污染晶圆、光学基板,适配无尘真空制程;无放电针耗材,维护简单。
无反向过中和
离子平衡稳定,不会产生反向静电击穿芯片、OLED 薄膜。
工业集成友好
电源带运行、故障信号输出,可对接设备 PLC 联锁;灯头外置安装,不占用腔体内部空间。