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产品型号：C10346-01
更新时间：2026-07-18
厂商性质：代理商
访问量：12
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产品分类
HAMAMATSU 滨松光子，全称滨松光子学株式会社（Hamamatsu Photonics K.K.），日本全球顶尖光子科技企业，1953 年创立，总部静冈县滨松市，是光电子、射线检测、激光设备领域龙头厂商，核心产品线，光电倍增管 PMT，光半导体器件，X 射线 / 射线发生装置，激光器与光学仪器，整机检测设备。
多波段等离子加工监控器 C10346-01 是一个专门设计用于监测半导体的各种制造过程中产生的光学等离子体发射的系统，包括蚀刻、溅射、清洁和 CVD。该 MPM 可以实时处理多通道记录。
详细参数：
| 型号 | C10346-01 |
|---|---|
| 波长范围 | 200 nm 至 950 nm |
| 波长精度 | ±0.75 nm |
| 波长分辨率（半宽度） | <2 nm |
| 电源 | AC100 V 至 AC240 V (50 Hz/60 Hz) |
| 功耗 | 约 70 VA |
| 数字输出端子（确定信号输出） | TTL 最多 5 个通道（使用测量触发信号时最多 3 个通道） |
| 数字输入终端（开始测量触发信号） | 使用 TTL 5 通道的 TTL 1 通道 |
| 数字输出端（占线信号） | 使用 TTL 4 通道的 TTL 1 通道 |
| 模拟输出端 | 2 通道 0 V 至 10 V |
| 光纤探针连接器 | SMA |
| 通信接口 | USB 2.0 Type B |
| 环境工作温度 | +10 ̊C 至 +30 ̊C |
尺寸：
