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产品型号：L12542
更新时间：2026-08-11
厂商性质：代理商
访问量：6
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产品分类
HAMAMATSU 滨松光子，全称滨松光子学株式会社（Hamamatsu Photonics K.K.），日本优良光子科技企业，1953 年创立，总部静冈县滨松市，是光电子、射线检测、激光设备领域龙头厂商，核心产品线，光电倍增管 PMT，光半导体器件，X 射线 / 射线发生装置，激光器与光学仪器，整机检测设备。
L12542 是大面积辐照型号，具有宽指向性（光分布）以及高稳定性和长寿命。
在我们的真空静电消除器产品系列中，L12542 具有高通用性，并且在广泛领域中具有良好的使用记录。L12542 可有效快速消除大型物体或多个物体上的静电电荷。
详细参数：
| 参数 | 描述 | 单位 | ||
|---|---|---|---|---|
| 窗材 | MgF2 | － | ||
| 光谱分布 | 115 至 400 | nm | ||
| 预热时间 | 25 ±5 | s | ||
| 光输出稳定性 | 波动 (p-p) | 最大值 | 0.05 | % |
| 偏差 | 最大值 | ±0.3 | %/h | |
| 保证光源寿命 (*1) | 2000 | h | ||
| 替换光源 | L12565 | － | ||
| 真空法兰 | － (*2) | － | ||
| 密封方法 | O 型圈 | － | ||
| 泄漏量 | 1 x 10-10 Pa m3/s (*3) | － | ||
| 输入电压（交流） | 100 V 至 240 V，单相 50 Hz / 60 Hz | － | ||
| 功耗 | 最大值 | 90 | VA | |
| 光源单元冷却方法 | 以风扇强制风冷 | － | ||
| 工作温度范围 | +10 至 +40 | ℃ | ||
| 储存温度范围 | 0 至 +60 | ℃ | ||
| 工作湿度范围 | 低于 80%（无冷凝） | － | ||
| 储存湿度范围 | 低于 85%（无冷凝） | － | ||
| 外部控制 | 照射控制、照射信号、各种报错信号 | |||
*1：寿命终止定义为 230 nm 的光输出低于其初始值的 50%，或光输出波动超过最大规格值。
请注意，光输出衰减在很大程度上取决于真空设备的状况。
*2：L12542 可以与下列相关产品的真空法兰一起使用。
有关如何将真空静电消除器安装到真空设备上的信息，请联系我们。
*3：使用氦气泄漏探测器测量的结果。
光谱：115‑400nm 真空紫外‑紫外
替换灯泡：L12565（氘灯），保证寿命 2000h
预热时间：25±5 秒
光输出波动：≤0.05%，漂移 ±0.3%/h，输出稳定性高
供电：AC100‑240V，功耗最大 90VA；光源头风扇强制风冷
真空泄漏率：1×10⁻¹⁰ Pa・m³/s，满足高真空工况
外部控制：可 PLC 控制启停、点灯输出信号、故障报警信号输出
光源头约 530g，控制器 1.8kg
超大照射角度：照射角度约为传统 VUV 光源 3 倍，单台即可完成大面积工件除静电，无需多台拼接。
真空环境下光电离产生离子中和静电，无需压缩空气，无粉尘、无电磁干扰，不会出现过中和。
整套分体式，光源头装入真空腔，控制器放置腔外，适配半导体设备集成。
半导体设备：静电吸盘解吸附除电（De‑chuck）、晶圆工艺真空腔体除静电。
OLED、LCD 面板真空制程、硬盘 HDD 制造、薄膜设备真空腔除静电。
真空环境下，消除工件静电吸附，防止微粒吸附、静电击穿损伤元器件。
⚠️仅适合真空 / 低压腔体内使用，不能在大气环境做除静电；大气除静电选用滨松软 X 射线除电器。
