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更新时间:2026-08-28
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美萨IC 浆料TOKISANGYO东机产业粘度计
美萨IC 浆料TOKISANGYO东机产业粘度计
计光刻胶优先锥板(Cone‑Plate):样品极少,减少昂贵样品消耗;普通 B 型杯式粘度计样品几十毫升,不适合光刻胶。
温度极其关键:光刻胶粘度对温度非常敏感,优先选 TR‑100E‑PC 内置帕尔贴,避免外接浴槽温度滞后。
光刻胶优先锥板(Cone‑Plate):样品极少,减少昂贵样品消耗;普通 B 型杯式粘度计样品几十毫升,不适合光刻胶。
温度极其关键:光刻胶粘度对温度非常敏感,优先选 TR‑100E‑PC 内置帕尔贴,避免外接浴槽温度滞后。
接触部件:强溶剂体系,确认转子材质耐丙酮、PGMEA 等光刻胶溶剂。
数据输出:需要 PC 软件、CSV 导出,满足半导体 fab 数据追溯要求。
校准:使用东机 JS 系列标准粘度液定期校准。
半导体行业TOKISANGYO东机产业粘度计
光刻胶优先锥板(Cone‑Plate):样品极少,减少昂贵样品消耗;普通 B 型杯式粘度计样品几十毫升,不适合光刻胶。
温度极其关键:光刻胶粘度对温度非常敏感,优先选 TR‑100E‑PC 内置帕尔贴,避免外接浴槽温度滞后。
接触部件:强溶剂体系,确认转子材质耐丙酮、PGMEA 等光刻胶溶剂。
数据输出:需要 PC 软件、CSV 导出,满足半导体 fab 数据追溯要求。

