TOFCO东富科药液纯水用超声波流量计USF500S
USF500S 是一款为半导体等制造领域量身打造的高性能超声波流量计。它凭借全PFA材质的耐腐蚀性、DSP技术带来的高稳定性以及最高200℃的耐温能力，为超纯水和化学药液的精确流量测量提供了一个可靠的解决方案。

TOFCO东富科药液纯水用超声波流量计USF500S

TOFCO东富科USF500S 是一款专为半导体等行业设计的小口径、非接触式超声波流量计，主要用于测量超纯水、高纯化学品及腐蚀性药液等苛刻流体的流量。

它的核心优势在于采用全PFA材质接液部件，并搭载了DSP（数字信号处理器）技术，实现了高精度、高稳定性的测量。

核心特点：

全PFA材质，耐腐蚀性强：接液部主体采用PFA（全氟烷氧基）树脂，可耐受强酸、强碱及高温的化学液体，确保长期稳定使用。

DSP技术，测量稳定：通过DSP技术增强了对气泡的抗干扰能力，提高了测量的稳定性和响应速度，特别适用于易产生气泡的液体环境。

高温流体适用：高温规格型号支持测量最高200℃的流体。

高精度测量：在稳定条件下，测量精度可达 ±1% of R.D.（读数值） 。

便于安装与维护：传感器与本体采用可拆卸式电缆连接，简化了布线工作。部分型号流量计本体与转换器为分体式设计。

支持多机通信：通过RS-485 (Modbus-RTU) 通信，最多可连接31台设备，便于构建多测量点的网络化系统。

应用场景：

半导体清洗工艺：测量用于晶圆清洗的超纯水和化学药液（如SC-1, SC-2, 稀释HF等）的流量。

湿法刻蚀与显影：监控湿法刻蚀、显影等工艺中化学品的供应流量。

化学机械抛光（CMP）：测量CMP工艺中使用的浆料（Slurry）流量。

高温化学液输送：利用其高温规格，可测量温度高达180-200℃的化学液。

使用注意事项：

流体兼容性：尽管主体为PFA材质，但对于具有强渗透性的药液，使用前需确认兼容性，否则可能造成故障。

气泡影响：虽然DSP技术增强了抗气泡能力，但流体中大量气泡仍可能影响测量精度。

安装要求：为获得最佳测量精度，应确保测量管段内液体满管且无大的气泡或涡流。

TOFCO东富科药液纯水用超声波流量计USF500S型式：