TOFCO东富科药液纯水用超声波流量计USF600S
USF600S 是一款为半导体等制造领域量身打造的高性能超声波流量计。它凭借全PFA材质的耐腐蚀性、DSP技术带来的高稳定性以及小型化、易维护的设计，为超纯水和化学药液的精确流量测量提供了一个可靠的解决方案。

TOFCO东富科药液纯水用超声波流量计USF600S

TOFCO东富科是一家拥有超过50年历史的日本流量计专业制造商。它的发展史，是一个从个人作坊起步，逐步成为全球流体控制领域头部的过程。

创业期（1973-2003年）：1973年7月，创始人田畑吉胤在东京日野市创立了一家流量计制作所。次年，他成立了“株式会社东京流量计实验室"，从此专注于流量测量技术。在接下来的三十年里，公司稳步发展，陆续建立了多个工厂和营业所，并获得了ISO9001认证。

品牌全球化（2004年至今）：2002年，公司开始全球化布局。2004年是关键的一年：

创立品牌：1月，推出综合品牌 “TOFCO" ，其含义为 “Total Flow Consultant" （全面的流量顾问）。

公司更名：9月，公司正式更名为“東フロコーポレーション株式会社"（TOFLO CORPORATION）。

迈向新台阶：2017年，田畑隆一郎接任社长。2024年，为扩大事业新建了鹿儿岛事业所。如今，公司拥有约240名员工（截至2025年8月），年销售额目标为50亿日元。

公司的经营理念是“清晰至诚 不断创造 适应变化 共同成长 贡献社会"。其愿景是成为客户心中理想的“Total Flow Consultant"，并积极拓展汽车、食品、医疗等新市场。

TOFCO东富科USF600S 是一款专为半导体等行业设计的小口径、非接触式超声波流量计，主要用于测量超纯水、高纯化学品及腐蚀性药液等苛刻流体的流量。亮点在于检测器的小型化以及可拆卸电缆的设计，让安装和维护更加便捷。

核心特点：

全PFA材质，耐腐蚀性强：接液部主体采用NEW PFA（全氟烷氧基）树脂，可耐受强酸、强碱及高温的化学液体，确保长期稳定使用。

DSP技术，测量稳定：通过DSP技术增强了对气泡的抗干扰能力，提高了测量的稳定性和响应速度，特别适用于易产生气泡的液体环境。

检测器小型化：相比前代产品，检测器单元更加小型化，节省安装空间。

便于安装与维护：传感器与本体采用可拆卸式电缆连接，简化了布线工作，便于维护。

支持多机通信：通过RS-485 (Modbus-RTU) 通信，最多可连接31台设备，便于构建多测量点的网络化系统。

高精度测量：在稳定条件下，测量精度可达 ±1% of R.D.（读数值） 。

应用场景：

半导体清洗工艺：测量用于晶圆清洗的超纯水和化学药液（如SC-1, SC-2, 稀释HF等）的流量。

湿法刻蚀与显影：监控湿法刻蚀、显影等工艺中化学品的供应流量。

化学机械抛光（CMP）：测量CMP工艺中使用的浆料（Slurry）流量。

使用注意事项：

流体兼容性：尽管主体为PFA材质，但对于具有强渗透性的药液，使用前需确认兼容性，否则可能造成故障。

气泡影响：虽然DSP技术增强了抗气泡能力，但流体中大量气泡仍可能影响测量精度。

安装要求：为获得最佳测量精度，应确保测量管段内液体满管且无大的气泡或涡流。

TOFCO东富科药液纯水用超声波流量计USF600S型号：