TOFCO东富科药液纯水用超声波流量计USF500N
USF500N 是一款为半导体等制造领域量身打造的高性能超声波流量计。其最主要的双通道设计，使其在需要多点测量的应用中，相比单通道产品具有显著的空间和成本优势。

TOFCO东富科药液纯水用超声波流量计USF500N

TOFCO，全称TOFLO CORPORATION（東フロコーポレーション株式会社），日本专业流体流量测控仪器厂商。

品牌名称释义：TOFCO = Total Flow Consultant，中文含义：全面流体顾问，定位不止销售仪表，而是为客户提供流体测量控制整套解决方案。

三大业务支柱：FLOW 流量测控、HEX 热交换单元、ECO 环境设备。

产品覆盖面积式浮子流量计（FM‑PZ 系列）、SCN 质量流量控制器 MFC、涡街、超声波、容积式流量计、流体集成配管单元、过滤器等；广泛服务半导体、分析仪器、实验室、化工、热处理、水处理行业。 

经营理念：清晰至诚、不断创造；适应变化、共同成长、贡献社会。

TOFCO东富科USF500N 是一款专为半导体等行业设计的双通道、小口径超声波流量计。一台USF500N 的转换器（Driver Unit）可以同时连接并测量两路独立的管道，这对于需要节省空间和降低系统成本的多点测量场景非常有优势。

核心特点：

双通道同时测量：这是USF500N最核心的特点。一台设备即可处理两路信号，能有效节省安装空间并降低系统成本。

全PFA材质，耐腐蚀性强：接液部主体采用NEW PFA（全氟烷氧基）树脂，可耐受强酸、强碱及高温的化学液体。

DSP技术，测量稳定：通过DSP技术增强了对气泡的抗干扰能力，提高了测量的稳定性和响应速度。

高温流体适用：高温规格型号支持测量最高200℃的流体。

便于安装与维护：传感器与本体采用可拆卸式电缆连接，简化了布线工作，便于维护。

支持多机通信：通过RS-485 (Modbus-RTU) 通信，最多可连接31台设备，便于构建多测量点的网络化系统。

应用场景：

多点位集中测量：这是USF500N的独特优势。在一个机台上，使用一台设备即可同时测量两路不同的流体（如两路不同的化学药液），节省了成本和空间。

半导体清洗工艺：测量用于晶圆清洗的超纯水和化学药液（如SC-1, SC-2, 稀释HF等）的流量。

湿法刻蚀与显影：监控湿法刻蚀、显影等工艺中化学品的供应流量。

化学机械抛光（CMP）：测量CMP工艺中使用的浆料（Slurry）流量。

使用注意事项：

流体兼容性：尽管主体为PFA材质，但对于具有强渗透性的药液，使用前需确认兼容性，否则可能造成故障。

不能与FCV-C组合使用：该型号不能与TOFCO的FCV-C流量控制阀组合使用。

气泡影响：虽然DSP技术增强了抗气泡能力，但流体中大量气泡仍可能影响测量精度。

安装要求：为获得最佳测量精度，应确保测量管段内液体满管且无大的气泡或涡流。

TOFCO东富科药液纯水用超声波流量计USF500N型式：