TOFCO东富科药液纯水用流量控制器FLC4000R
TOFCO FLC4000R 是一款专为微小流量、高腐蚀性药液控制而设计的精密仪器。其分体式结构、全氟树脂接液材质和气动快速响应的特性，使其在半导体等制造领域的超纯水和化学药液流量控制中，成为一个专业且可靠的解决方案。

TOFCO东富科药液纯水用流量控制器FLC4000R

日本TOFCO东富科株式会社于1973年作为流量测量仪器的专业制造商成立，并于1974年成立了株式会社东京流量计实验室，此后半个世纪以来，以流体控制技术为基础的计测器、周边设备，热转换器，环境机器等，致力于满足客户的各种需求。2002年开始我们积极的推进全球化发展，并于2004年1月推出了以< HEX>3大业务为支柱的「TOFCO东富科」品牌。TTOFCO东富科」意为「Total FlowConsultant」，代表了我们的坚定决心，2004年9月，公司更名为「東フロコ一ポレ一ション株式会社」。我们的使命是充分利用我们的高品质产品线和迄今为止积累的技术，为客户提供最佳使用方案。

TOFCO东富科FLC4000R 是一款专为微小流量场景设计的药液/纯水用流量控制器。它通过分体式设计，将检测部（含超声波流量计和气动阀）与控制部分离，在提供高精度、高耐腐蚀性控制的同时，也赋予了现场安装超高的灵活性。

主要特点：

分体式设计，安装灵活：检测部与控制部相互独立。这种设计让体积较大的控制部可以远离管道，节省了狭小设备内的宝贵空间，也让检测部的安装位置选择更加自由。

全氟树脂接液部，耐腐蚀性强：所有与液体接触的部件均由PTFE和NEW PFA等氟树脂制成，能有效抵抗各类化学药液的腐蚀。

气动驱动，快速响应：采用气动控制阀，相比电机驱动方式，能实现3秒以内的快速响应，满足精密控制需求。

高精度与高重复性：提供±1.0% F.S.（满量程）的流量精度和±2.0% R.D.（读数值）的控制精度。对于低于50mL/min的超微小流量，控制精度可达±1mL。重复性为±0.5%。

结构简单，稳定可靠：检测部仅由气动控制阀和超声波流量计构成，结构精简，有利于提高长期运行的可靠性。

典型应用：

‑ 半导体设备微小流量超纯水、高纯化学药液闭环恒流量控制

‑ 电子清洗工艺、药液输送微小流量精密管控

‑ 需要快速响应、高耐腐蚀、无金属析出的药液回路

使用注意事项：

必须同时提供 DC24V 电源 + 洁净干燥控制气源，缺一不可。

管路必须满管；大量气泡会劣化测量与控制精度。

OCT 开路集电极输出，不可直接驱动大功率负载，需配中间继电器。

介质中大颗粒杂质会损伤 PFA 流路，上游建议配置过滤器。

TOFCO东富科药液纯水用流量控制器FLC4000R型号：