TOFCO东富科药液纯水用流量控制器FLC-US40
FLC-US40 是一款为半导体等制造领域打造的高性能、一体化微小流量控制器。它凭借超高速响应、优秀的控制精度（±1% R.D.）以及全氟树脂的耐腐蚀性，为超纯水和化学药液的精密流量控制提供了一个专业且可靠的解决方案。

TOFCO东富科药液纯水用流量控制器FLC-US40

TOFCO，全称TOFLO CORPORATION（東フロコーポレーション株式会社），日本专业流体流量测控仪器厂商。

品牌名称释义：TOFCO = Total Flow Consultant，中文含义：全面流体顾问，定位不止销售仪表，而是为客户提供流体测量控制整套解决方案。

三大业务支柱：FLOW 流量测控、HEX 热交换单元、ECO 环境设备。

产品覆盖面积式浮子流量计（FM‑PZ 系列）、SCN 质量流量控制器 MFC、涡街、超声波、容积式流量计、流体集成配管单元、过滤器等；广泛服务半导体、分析仪器、实验室、化工、热处理、水处理行业。 

经营理念：清晰至诚、不断创造；适应变化、共同成长、贡献社会。

TOFCO东富科FLC-US40 是一款专为微小流量场景设计的一体化流量控制器，主要面向药液和纯水的精密控制。它将超声波流量计与控制阀集于一体，并采用高性能步进电机驱动，实现了高速、高精度的流量控制。

核心特点：

一体化与超高速响应：流量计与控制阀一体化设计，节省安装空间。其步进电机驱动可实现全闭到全开仅需0.3秒的响应速度。

优秀的控制性能：控制范围宽（1:20），具备过冲抑制功能和累计流量预测功能。在稳定条件下，流量控制精度可达读数的 ±1%。

可视化与智能通信：顶部设有8色LED状态指示灯，可直观显示阀门寿命、压力不足等多种工作状态。同时支持 Modbus RTU 通信协议，最多可31台设备联网。

高耐腐蚀材质：所有接液部件均采用PTFE和PFA等耐腐蚀氟树脂，确保在严苛的化学环境中长期稳定运行。

典型应用：

‑ 半导体设备微小流量超纯水、高纯化学药液闭环恒流量控制

‑ 电子清洗工艺、药液输送微小流量精密管控 

‑ 安装空间受限，不希望布置控制气源的高纯药液回路

使用注意事项：

管路必须保证满管，大量气泡会劣化测量与控制精度。

OCT 开路集电极输出，不可直接驱动大功率负载，需要配中间继电器。

大颗粒杂质会损伤 PFA 流路，上游建议配置过滤器。

选型确认最小压差，压差不足无法稳定控制流量。

TOFCO东富科药液纯水用流量控制器FLC-US40型式：